[实用新型]一种内置反应管分压式化学气相沉渗透镀膜装置

权利要求书

1.一种内置反应管分压式化学气相沉渗透镀膜装置，包括双层石英管，双层石英管包括同轴固定设置的外层石英管（1）和内层石英管（2），所述内层石英管（2）短于外层石英管（1），所述双层石英管首端以第一管路（24）连接氩气气源（14），所述双层石英管末端以第二管路（22）连接真空泵（20），其特征在于，双层石英管从首端到末端依次包括等离子体反应区、第一加热区和第二加热区，内层石英管（2）和外层石英管（1）首端对齐，内层石英管（2）末端延伸至第二加热区，所述等离子体反应区于外层石英管（1）外设置有等离子极栅（9），等离子极栅（9）连接射频电源（10），内层石英管（2）末端连接用于卡固待渗透工件的套管氮化硼（15）及不锈钢固定管（16）达到与外层石英管（1）末端对齐，所述套管氮化硼（15）位于第二加热区。

2.根据权利要求1所述的一种内置反应管分压式化学气相沉渗透镀膜装置，其特征在于，所述双层石英管首端以第一真空法兰（11）与第一管路（24）连接，所述双层石英管与氩气气源（14）连接的第一管路（24）上依次设置气压计（12）和质量流量控制计（13）。

3.根据权利要求1所述的一种内置反应管分压式化学气相沉渗透镀膜装置，其特征在于，所述双层石英管末端以第二真空法兰（23）与第二管路（22）连接，所述双层石英管末端与真空泵（20）连接的第二管路（22）上依次设置有真空计（17）、真空调节阀（18）和净化器（19），所述真空泵（20）还设置有废气过滤器（21）。

4.根据权利要求1所述的一种内置反应管分压式化学气相沉渗透镀膜装置，其特征在于，所述套管氮化硼（15）具有卡固待渗透工件的卡固槽。

5.根据权利要求1所述的一种内置反应管分压式化学气相沉渗透镀膜装置，其特征在于，所述第一加热区于外层真空管外设置有第一红外线加热元件（4），第一红外线加热元件（4）连接第一温度传感器（8），所述第二加热区于外层真空管外设置有第二红外线加热元件（5），所述第二红外线加热元件（5）连接第二温度传感器（25）。

6.根据权利要求1所述的一种内置反应管分压式化学气相沉渗透镀膜装置，其特征在于，所述第一加热区于所述内层石英管（2）内设置有用于盛放前驱体的石英器皿（6）。

7.根据权利要求6所述的一种内置反应管分压式化学气相沉渗透镀膜装置，其特征在于，所述前驱体为有机铜化合物。

8.根据权利要求1所述的一种内置反应管分压式化学气相沉渗透镀膜装置，其特征在于，所述内层石英管（2）和外层石英管（1）之间设置有用于固定双层石英管的氮化硼支架（3）。

9.根据权利要求1所述的一种内置反应管分压式化学气相沉渗透镀膜装置，其特征在于，所述第一加热区和第二加热区之间的距离为50mm-70mm。