[实用新型]一种MEMS微镜的保护装置

说明书

本实用新型公开了一种MEMS微镜的保护装置，包括微镜本体，所述微镜本体的底部设置有槽型固定板，所述微镜本体的外表面套接有盒体，所述微镜本体的表面设置有微镜镜头，所述盒体的顶部开设有开口，所述开口的内部固定连接有保护片，所述微镜镜头位于保护片的正下方，所述盒体的顶壁开设有两个防潮口，两个所述防潮口分别位于开口的两侧，两个所述防潮口的内部分别设置有防潮板，所述盒体的四个内侧壁分别开设有凹槽，所述凹槽的内部分别固定连接有多个第一弹簧。本实用新型盒体的设置，使其在运输和使用微镜本体及微镜镜头的过程中均可对其进行保护，并便于对其本体进行防潮、散热和防尘，以延长MEMS微镜的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及MEMS技术领域，尤其涉及一种MEMS微镜的保护装置。

背景技术

MEMS微镜是基于微纳加工工艺制作的一种光学器件，即反射镜在微小驱动结构的作用力下，发生扭转或变形，通过微镜一定角度的偏转从而改变光束的传播方向。激光投影、激光雷达、三维扫描、MEMS光开关等光电技术已成为研究热点，其中MEMS微镜作为关键元件，对于相关技术的开发研究有着重要意义。MEMS微镜具有扫描速度快，结构紧凑，机械性能良好等优点，在条码识别、激光通信、光纤光开关、激光雷达及激光显示等领域具有重要应用。电磁驱动双轴MEMS微镜小巧精致，价格较为昂贵，但现有的电磁驱动双轴MEMS微镜缺少对电磁驱动双轴MEMS微镜的保护结构，在电磁驱动双轴MEMS微镜运输的过程中或安装在仪器上后，均容易受到碰撞振动以及灰尘等因素的影响，从而导致电磁驱动双轴MEMS微镜的使用寿命降低的情况发生。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种MEMS微镜的保护装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种MEMS微镜的保护装置，包括微镜本体，所述微镜本体的底部设置有槽型固定板，所述微镜本体的外表面套接有盒体，所述微镜本体的表面设置有微镜镜头，所述盒体的顶部开设有开口，所述开口的内部固定连接有保护片，所述微镜镜头位于保护片的正下方，所述盒体的顶壁开设有两个防潮口，两个所述防潮口分别位于开口的两侧，两个所述防潮口的内部分别设置有防潮板，所述盒体的四个内侧壁分别开设有凹槽，所述凹槽的内部分别固定连接有多个第一弹簧，多个所述第一弹簧远离凹槽的一端共同固定连接有定位板，所述定位板远离多个所述第一弹簧的一端与微镜本体的侧壁紧贴，所述盒体的外表面固定连接有两个安装块，两个所述安装块位于槽型固定板的内部，所述槽型固定板的靠近两个安装块的内部开设有两个空腔，两个所述安装块靠近两个空腔的一侧分别开设有固定槽，两个所述空腔的内部均设置有固定销，所述固定销的一端延伸至固定槽的内部，且固定销的另一端贯穿空腔的侧壁延伸至槽型固定板的外部并固定连接有拉杆，所述空腔的内部设置有滑板和第二弹簧，所述滑板固定套接于固定销的外表面，所述第二弹簧套接于固定销的外表面，所述第二弹簧的一端与滑板的侧壁固定连接，且第二弹簧的另一端与空腔的内侧壁固定连接，所述盒体的两侧壁分别开设有多个散热口，多个所述散热口的内部均固定连接有防尘网。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述保护片为透明材质。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述微镜本体靠近保护片的一端与盒体之间设置有散热块，所述散热块与盒体的内顶壁固定连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述散热块与定位板均为导热橡胶材料。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述防潮板为防潮`硅胶材质。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述微镜本体与盒体的底部可共同与安装面固定连接。

本实用新型具有如下有益效果：