[实用新型]一种利用复合探头的可携带式空间电荷测量装置

权利要求书

1.一种利用复合探头的可携带式空间电荷测量装置，用于测量平板样品(5)的空间电荷，其特征在于，所述空间电荷测量装置包括高速方波脉冲电源(1)、低压端取信号复合探头(2)、放大器(3)、示波器(4)、金属基板电极(6)和隔离电阻(7)，所述低压端取信号复合探头(2)的电压脉冲传输端连接所述高速方波脉冲电源(1)，信号提取端连接所述放大器(3)，所述放大器(3)还连接所述示波器(4)，所述平板样品(5)的EVA电极侧连接所述金属基板电极(6)，另一侧连接所述低压端取信号复合探头(2)，所述金属基板电极(6)连接所述隔离电阻(7)后接地。

2.根据权利要求1所述的一种利用复合探头的可携带式空间电荷测量装置，其特征在于，所述空间电荷测量装置还包括屏蔽箱(8)，所述低压端取信号复合探头(2)、平板样品(5)、金属基板电极(6)均位于所述屏蔽箱(8)内。

3.根据权利要求2所述的一种利用复合探头的可携带式空间电荷测量装置，其特征在于，所述平板样品(5)与所述低压端取信号复合探头(2)连接的表面涂抹有凡士林或硅油。

4.根据权利要求1所述的一种利用复合探头的可携带式空间电荷测量装置，其特征在于，所述高速方波脉冲电源(1)通过同轴电缆连接所述低压端取信号复合探头(2)，所述同轴电缆的电缆阻抗与所述低压端取信号复合探头(2)中压电陶瓷片的负载阻抗相配合，实现阻抗匹配。

5.根据权利要求4所述的一种利用复合探头的可携带式空间电荷测量装置，其特征在于，所述同轴电缆的电缆阻抗为7.5欧姆，所述低压端取信号复合探头(2)中压电陶瓷片的负载阻抗为5.1欧姆。

6.根据权利要求1所述的一种利用复合探头的可携带式空间电荷测量装置，其特征在于，所述高速方波脉冲电源(1)为所述低压端取信号复合探头(2)提供电压为150V、频率为90Hz、下降沿时间为纳秒级的高速周期脉冲电压。

7.根据权利要求1所述的一种利用复合探头的可携带式空间电荷测量装置，其特征在于，所述放大器(3)的增益为36dB，放大倍数为63倍。

8.根据权利要求1所述的一种利用复合探头的可携带式空间电荷测量装置，其特征在于，所述放大器(3)的内部阻抗在49欧姆至51欧姆范围以内。

9.根据权利要求1所述的一种利用复合探头的可携带式空间电荷测量装置，其特征在于，所述金属基板电极(6)为铝制基板电极。