[实用新型]一种宽响应频带质点振速传感器有效
| 申请号： | 202021793629.3 | 申请日： | 2020-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN212391112U | 公开（公告）日： | 2021-01-22 |
| 发明（设计）人： | 谢奕;刘云飞;周瑜;冯杰 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第三研究所 |
| 主分类号： | G01H17/00 | 分类号： | G01H17/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 张彩珍 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 响应 频带 质点 传感器 | ||
1.一种宽响应频带质点振速传感器，包括敏感元件，其特征在于，所述敏感元件(2)包括：
衬底(21)，其上形成一桥孔(211)；和
若干敏感丝(20)，平行置于所述桥孔(211)上；
所述敏感丝(20)由上至下依次包括敏感材料层(206)和支撑层(205)，所述敏感材料层(206)为中空结构。
2.根据权利要求1所述的一种宽响应频带质点振速传感器，其特征在于，所述敏感元件(2)还包括：
若干对电极(22)，设置于所述衬底(21)上的所述桥孔(211)两侧；
所述敏感丝(20)的两端分别对应连接于所述桥孔(211)两侧的所述电极(22)。
3.根据权利要求1或2所述的一种宽响应频带质点振速传感器，其特征在于，所述敏感元件(2)还包括：
加热丝(23)，其置于所述桥孔(211)上，且平行于所述敏感丝(20)。
4.根据权利要求2所述的一种宽响应频带质点振速传感器，其特征在于，所述敏感元件(2)还包括：
加热丝(23)，其置于所述桥孔(211)上，且平行于所述敏感丝(20)；
所述加热丝(23)的两端分别对应连接于所述桥孔(211)两侧的所述电极(22)，若干所述敏感丝(20)对称分布于所述加热丝(23)的两侧。
5.根据权利要求1或2所述的一种宽响应频带质点振速传感器，其特征在于，所述敏感材料层(206)包括上边界材料层(201)和由所述上边界材料层(201)的两侧向下延伸的侧边界材料层(203，204)。
6.根据权利要求5所述的一种宽响应频带质点振速传感器，其特征在于，所述敏感材料层(206)还包括连接两所述侧边界材料层(203，204)的下端的下边界材料层(202)，所述上边界材料层(201)、两侧边界材料层(203,204)和下边界材料层(202)相连接，包围形成中空结构。
7.根据权利要求5所述的一种宽响应频带质点振速传感器，其特征在于，所述上边界材料层(201)、两侧边界材料层(203,204)和支撑层(205)的侧边相连接，包围形成中空结构。
8.根据权利要求1或2所述的一种宽响应频带质点振速传感器，其特征在于，所述支撑层(205)由下至上依次包括结合层、承载层和粘附层。
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