[实用新型]一种用于探针台的芯片夹具有效

专利信息
申请号: 202021795386.7 申请日: 2020-08-25
公开(公告)号: CN213482291U 公开(公告)日: 2021-06-18
发明(设计)人: 杨良春;赵永峰 申请(专利权)人: 安徽信诺达微电子有限公司
主分类号: G01R1/04 分类号: G01R1/04;G01R1/067;G01R31/28
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 233000 安徽省蚌埠市*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 探针 芯片 夹具
【权利要求书】:

1.一种用于探针台的芯片夹具,包括用于放置于探针台(1)上的夹具机构(3),其特征在于:所述夹具机构(3)的内部安装有芯片(4),所述夹具机构(3)包括主连接板(13)和两组侧连接板(14),所述主连接板(13)与两组侧连接板(14)之间设置有两组安装通孔(17),所述主连接板(13)和侧连接板(14)的下端内部均开设有螺纹孔(21),所述螺纹孔(21)的内部安装有螺纹杆(22),所述探针台(1)包括上台板(5)和下台板(6),所述上台板(5)的下端连接有第一滑动块(7),所述下台板(6)的上端面开设有第一滑动槽(8),所述第一滑动块(7)位于第一滑动槽(8)的内部,所述下台板(6)的一侧连接有支撑板(10)。

2.根据权利要求1所述的一种用于探针台的芯片夹具,其特征在于:所述探针台(1)的上端面开设有移动槽(2),所述夹具机构(3)在探针台(1)的上端面滑动。

3.根据权利要求1所述的一种用于探针台的芯片夹具,其特征在于:所述主连接板(13)的两侧均设置有第一垫片(15),所述侧连接板(14)的内侧设置有第二垫片(16),所述第一垫片(15)和第二垫片(16)均为橡胶材质。

4.根据权利要求1所述的一种用于探针台的芯片夹具,其特征在于:所述主连接板(13)的下端两侧均开设有安装孔(18),所述侧连接板(14)的下端一侧均固定连接有安装杆(19),所述安装杆(19)的一端位于安装孔(18)的内部。

5.根据权利要求4所述的一种用于探针台的芯片夹具,其特征在于:所述主连接板(13)的下端连接有移动块(20),所述移动块(20)位于移动槽(2)的内部,所述侧连接板(14)的一侧设置有烟雾传感器(23)。

6.根据权利要求1所述的一种用于探针台的芯片夹具,其特征在于:所述支撑板(10)包括上板和下板,所述上板的下端面连接有第二滑动块(24),所述下板的上端面开设有第二滑动槽(25),所述第二滑动块(24)在第二滑动槽(25)的内部滑动,所述下板的两侧均开设有通孔,所述通孔的内部均安装有紧固螺栓(26)。

7.根据权利要求1所述的一种用于探针台的芯片夹具,其特征在于:所述支撑板(10)的上端设置有气缸(11),所述上台板(5)的一侧连接有连接板(9),所述气缸(11)通过伸缩杆(12)与连接板(9)连接。

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