[实用新型]一种均匀镀膜钼舟

说明书

本实用新型公开了一种均匀镀膜钼舟，包括钼舟本体，钼舟本体包括内腔为四棱台型的舟舱，舟舱沿纵向的两个相对的侧壁内表面设有阶梯状结构，舟舱的两侧上端沿水平方向向外延伸有一体连接的舟翼，舟翼的两侧上端分别转动连接有左舟盖和右舟盖，左舟盖和右舟盖的底部分别固定连接有左引导板和右引导板，左引导板与右引导板的端部均与舟舱的两侧内壁相平行，左引导板的内部与右引导板的内部均开设有若干个引导通道，舟舱的顶部边缘固定有矩形密封块，矩形密封块分别与左舟盖和右舟盖相适配。本实用新型通过左引导板与右引导板以及移动通道和镀膜孔，能够引导镀膜蒸汽分别沿舟舱的内侧表面和引导通道向上移动，从而实现均匀镀膜。

技术领域

本实用新型涉及镀膜设备领域，特别涉及一种均匀镀膜钼舟。

背景技术

钨、钼熔点高，电性能好，抗热及抗腐蚀性能优越，被广泛应用于冶金，电子、宇航、半导体、电光源和化工等行业。选用高纯度的钨材或钼材，用先进的生产自动线生产出的钨舟或钼舟作为特殊而有效的舟皿，被广泛的用于真空镀膜行业的金属蒸镀。而在真空镀膜过程中，需要很高温度才会使金属原料从固体状态蒸发汽化。钨舟或钼舟应用于真空镀膜中，是将钨舟或钼舟安装在两个电极中间，在钨舟或钼舟的中央加上蒸发源，再缓缓给电极通电，电流通过钨舟或钼舟，钨舟或钼舟通电发热，使高熔点的钨舟或钼舟产生热量，再热传导给镀膜材料，当钨舟或钼舟的热量高于镀膜材料熔点的时候，材料就蒸发，此方法操作方便，结构简单，成本低廉。

镀膜技术广泛应用于各种工件上，镀膜不仅能保护工件，防止工件磨损、氧化从而使得工件表面光滑，装饰性强，在薄膜制备的过程中，需要很强的功率才能使金属原料从固体状态蒸发气化，但是现有的钼舟结构设计不合理，制造成本高，导致镀膜不均匀，除此之外，当钼舟持续在高温下使用时，其会随着时间的延长而发生变形，严重时会造成舟体扭曲。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种均匀镀膜钼舟，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种均匀镀膜钼舟，包括钼舟本体，所述钼舟本体包括内腔为四棱台型的舟舱，所述舟舱沿纵向的两个相对的侧壁内表面设有阶梯状结构，所述舟舱的两侧上端沿水平方向向外延伸有一体连接的舟翼，所述舟翼的两侧上端分别转动连接有左舟盖和右舟盖，所述左舟盖和右舟盖的底部分别固定连接有左引导板和右引导板，所述左引导板与所述右引导板的端部均与所述舟舱的两侧内壁相平行，所述左引导板的内部与所述右引导板的内部均开设有若干个引导通道，所述引导通道的上端分别朝向所述舟舱沿纵向的两个相对的侧壁内表面，所述引导通道的底端朝向所述舟舱的底部，所述舟舱的顶部边缘固定有矩形密封块，所述矩形密封块分别与所述左舟盖和右舟盖相适配。

优选的，所述舟翼上开设有定位孔。

优选的，所述左引导板与所述右引导板的底部开设有若干个镀膜孔，所述镀膜孔为锥度孔，所述镀膜孔与所述引导通道相连通。

优选的，所述钼舟本体的底部固定有若干个均匀分布的加强筋。

优选的，所述钼舟本体的左右两端均开设有前后贯通的散热孔。

优选的，所述左舟盖和右舟盖的顶部均固定有把手。