[实用新型]一种可自动翻面的行星架样品台

说明书

一种可自动翻面的行星架样品台，包括支撑台和行星架，行星架上包括有多组支架以及多组翻转台，各组翻转台的一侧均与对应的支架转动连接，另一侧均设有传动组件，传动组件包括连接轴、翻面锥齿、主动锥齿以及从动锥齿，连接轴上套设有通过轴承转动连接的轴套，翻面锥齿固定连接在轴套上，翻转台包括外环和内环，内环上放置有膜片，翻面锥齿与第一驱动锥齿啮合，第一旋转电机驱动第一驱动锥齿转动以使外环在竖直面上翻转，内环的底面设有与从动锥齿啮合的齿盘，主动锥齿与第二驱动锥齿啮合，第二旋转电机驱动第二驱动锥齿转动以使内环上的膜片在水平面上转动；本实用新型优点在于：能自动将载有的膜片进行翻面使得膜片的双面能均匀对称的进行镀膜。

技术领域

本实用新型涉及镀膜设备的技术领域，尤其是一种可自动翻面的行星架样品台。

背景技术

本实用新型中的行星架样品台主要应用在镀膜设备中，由于镀膜的应用比较广泛，而本实用新型针对的是小型膜片镀膜，如常用的相机镜头、近视、远视、老花镜等矫正眼镜的镜片，而薄膜均匀性取决于蒸发源的蒸发特性、基片的几何形状、基片与蒸发源的相对位置等因素；常采用基片和蒸发源相对运动的原理，基片旋转是最实用化的获得均匀薄膜的方法，对于基片双面镀膜，目前的镀膜设备均是采用水平转动膜座以使单面镀膜，当镀完一面膜片之后停止镀膜设备的运行，打开镀膜设备的安全门，手动将膜座上的膜片翻转换面，这种人工进行手动对膜片进行翻面的操作为采用停止镀膜，更换所镀的表面，很难保证基片两个表面膜层的均匀性和对称性；且降低了镀膜的效率；因此本实用新型设计这种能自动将膜片进行翻面镀膜的行星架样品台。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种能自动将载有的膜片进行翻面使得膜片的双面能均匀对称的进行镀膜的行星架样品台。

本实用新型解决其技术问题是采取以下技术方案实现的：

该种可自动翻面的行星架样品台，包括支撑台和行星架，所述支撑台上包括有第一旋转机构，所述第一旋转机构包括第一旋转电机、第一驱动轴以及第一驱动锥齿，所述第一驱动锥齿套设在所述第一驱动轴上，所述行星架下方设有第二旋转机构，所述第二旋转机构包括第二旋转电机、第二驱动轴以及第二驱动锥齿，所述第二驱动锥齿套设在所述第二驱动轴上，所述行星架上包括有多组支架以及多组翻转台，各组所述翻转台的一侧均与对应的支架转动连接，另一侧均设有传动组件，所述传动组件包括连接轴、翻面锥齿、主动锥齿以及从动锥齿，所述连接轴一端穿过所述支架，所述主动锥齿与所述从动锥齿分别设置在连接轴两端，所述连接轴上套设有通过轴承转动连接的轴套，所述翻面锥齿固定连接在轴套上，所述翻转台包括外环和内环，所述外环与所述内环转动连接，所述内环上放置有膜片，所述轴套的一端固定连接在外环上，所述翻面锥齿与所述第一驱动锥齿啮合，所述第一旋转电机驱动所述第一驱动锥齿转动以使所述外环在竖直面上翻转，所述内环的底面设有与从动锥齿啮合的齿盘，所述主动锥齿与所述第二驱动锥齿啮合，所述第二旋转电机驱动所述第二驱动锥齿转动以使所述内环上的膜片在水平面上转动。

优选的，所述第一驱动锥齿的直径大于第二驱动锥齿的直径，所述翻面锥齿的直径大于主动锥齿的直径。

优选的，所述支撑台上还设有升降机构，所述行星架还包括有圆盘，各组所述支架均固定连接在圆盘的底面，所述升降机构包括框架、第三旋转电机、移动板、螺杆以及导杆，所述第三旋转电机位于框架上，所述螺杆一端与第三旋转电机连接，另一端通过轴承转动连接在框架底面上，所述导杆位于框架上，所述移动板套设在螺杆和导杆上，所述移动板与所述螺杆螺纹连接，所述第一驱动轴外套设有管套，所述管套穿过支撑台连接在圆盘上，所述管套外还套设有穿过支撑台的外套，所述外套与管套之间通过轴承连接，所述移动板固定连接在外套上。

优选的，所述支撑台上还设有第三旋转机构，所述第三旋转机构包括支撑架、第四旋转电机、齿轴以及转动齿轮，所述第四旋转电机位于支撑架上，所述第四旋转电机通过皮带带动齿轴转动，所述转动齿轮套设在齿轴上，所述圆盘与所述支撑台之间的管套上固定套设有传动齿轮，所述转动齿轮与所述传动齿轮啮合。