[实用新型]可自动调节放肩工艺参数的单晶炉

权利要求书

1.一种可自动调节放肩工艺参数的单晶炉，其特征在于，包括：晶体提拉模块、机器视觉直径测量模块和温度控制模块；

所述晶体提拉模块包括：转轴、连接在转轴上的绕线轮和一端连接在绕线轮上的软轴；所述软轴的另一端与晶体连接，在拉制单晶的工作过程中，转轴带动绕线轮旋转，使所述软轴与绕线轮相连的一端缠绕在绕线轮上，进而使软轴与晶体相连的一端对晶体进行提拉；所述晶体提拉模块通过驱动电机穿过减速器，进而通过有齿轮齿条机构带动；所述晶体提拉模块通过电动机实现升降运动并同时通过涡轮减速机带动滚动花键轴，滚动花键轴副驱动卷轮旋转并承担起支撑。

2.根据权利要求1所述的一种可自动调节放肩工艺参数的单晶炉，其特征在于，

所述机器视觉直径测量模块通过工业摄像机捕获单晶生长图像，所述工业摄像机采集的图像系统将进行图像信号和数字信号的转换，实时传送给上位计算机并获取单晶体的边缘位置。