[实用新型]一种镀膜装置的旋转盘

说明书

本实用新型公开了一种镀膜装置的旋转盘，包括安装夹具，所述安装夹具的侧壁上均匀设置有多个固定口，所述安装夹具的上端设置有螺杆组件，所述固定口上安装有安装框，所述螺杆组件贯穿安装夹具抵在固定口内的安装框表面将其固定在安装夹具上，所述安装夹具的外侧壁上固定有支撑架，所述安装框卡在支撑架内，所述定位夹具安装在安装框上，所述安装框的侧边固定有抵触组件，所述抵触组件卡在定位夹具的上端面；本实用新型安装框可直接通过固定口从安装夹具内进行拆卸，通过插拔的方式进行安装，步骤简单，支撑架对安装框进行导向和支撑，有效地防止安装框在安装时发生偏移，栅栏板在转动时对各处蒸发离子进行轻微扰动，使得基片的镀膜层更加均匀。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体为一种镀膜装置的旋转盘。

背景技术

真空蒸发镀膜是在真空条件下，用蒸发器加热蒸发物质，使之升华，蒸发粒子流直接射向基片，并在基片上沉积形成固态薄膜，或加热蒸发镀膜材料的真空镀膜方法，为了基板表面的镀膜层更加的均匀，目前在行业内多采用旋转基片的方式来保证膜层厚度的均匀性，具体是通过电机驱动旋转盘以一定的角速度进行旋转，基片放置在旋转盘内，从而让基片达到旋转的目的。

申请号“CN201822271803.7”公开了一种镀膜装置的旋转盘，通过定位夹具与本体可拆卸的设计，在进行镀膜时，只需要事先将待镀膜的基片放置在定位夹具中，更换基片时，只要整体更换定位夹具即可，提高工件的加工效率，但是仍有以下不足：1、定位夹具嵌入且可拆卸的固定在安装框中，虽然可以整体拆卸，安装时由于安装框的阻挡，操作人员在真空腔室中操作空间小，安装和拆卸时难度较大； 2、定位夹具没有扰动组件，使得蒸发粒子流直接射向基片，容易造成基片各处蒸发离子不均匀，使得镀膜后产生的固态薄膜各处误差大。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种镀膜装置的旋转盘，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种镀膜装置的旋转盘，包括安装夹具，所述安装夹具的侧壁上均匀设置有多个固定口，所述安装夹具的上端设置有螺杆组件，所述固定口上安装有安装框，所述螺杆组件贯穿安装夹具抵在固定口内的安装框表面将其固定在安装夹具上，所述安装夹具的外侧壁上固定有支撑架，所述安装框卡在支撑架内，所述安装框上安装有定位夹具，所述安装框的侧边固定有抵触组件，所述抵触组件卡在定位夹具的上端面。

优选的，所述安装框由外框架、延长臂、橡胶条和栅栏板组成，所述延长臂固定在外框架上，所述延长臂安装在固定口内，所述外框架的下端固定有和外框架相垂直的栅栏板，所述外框架的内侧壁与定位夹具的贴合面设置有一层橡胶条。

优选的，所述安装框由两个支撑架进行支撑，所述支撑架对称分布在固定口的两侧。

优选的，所述支撑架由支撑臂、卡槽架、磁铁条和紧固凸条构成，所述支撑臂的一端固定在安装夹具，另一端固定有卡槽架，所述卡槽架的内部安装有磁铁条，所述卡槽架的内侧壁上固定有凸起的紧固凸条。

优选的，所述抵触组件由底座、安装杆、旋转块和紧固弹簧构成，所述底座固定在安装框的侧面，所述安装杆安装在底座上，所述旋转块套在安装杆上，所述底座和安装杆之间固定有紧固弹簧。

优选的，所述定位夹具包括定位板和放置口，所述定位板的表面均匀设置有多个放置口。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)安装框可直接通过固定口从安装夹具内进行拆卸，通过插拔的方式进行安装，步骤简单，并且支撑架对安装框进行导向和支撑，能够在安装时起到导向和定位的作用，有效地防止安装框在安装时发生偏移，而且定位夹具也可从安装框上进行拆卸，安装基片的定位夹具的拆卸方式多样，能够根据需求进行调整，提高了镀膜基片的安装和更换的效率；