[实用新型]一种静电放电机台温控装置

权利要求书

1.一种静电放电机台温控装置，包括机台主体（1）、罩体（12）、加热部件（6）和制冷部件（18），其特征在于：所述机台主体（1）的外壁上表面中心位置处固定安装有测试平台（2），所述测试平台（2）的外壁上表面中心位置处固定安装有测试夹具（3），所述测试夹具（3）的表面设置有测试样品（4），所述罩体（12）的外壁下表面中心位置处固定安装有温度检测部件（11），所述罩体（12）的外部设置有控制部件（5）、加热部件（6）和制冷部件（18），所述机台主体（1）的外壁右表面下侧设置有显示箱（17）。

2.根据权利要求1所述的一种静电放电机台温控装置，其特征在于：所述加热部件（6）包括热风枪（7）和热风管（8），所述热风管（8）插设在罩体（12）中，所述热风枪（7）通过热风管（8）管路连通罩体（12）的内部，所述控制部件（5）信号连接热风枪（7）。

3.根据权利要求1所述的一种静电放电机台温控装置，其特征在于：所述制冷部件（18）包括冷风枪（9）和冷风管（10），所述冷风管（10）插设在罩体（12）中，所述冷风枪（9）通过冷风管（10）管路连通罩体（12）的内部，所述控制部件（5）信号连接冷风枪（9）。

4.根据权利要求1所述的一种静电放电机台温控装置，其特征在于：所述控制部件（5）分别信号连接加热部件（6）、制冷部件（18）和温度检测部件（11）。

5.根据权利要求1所述的一种静电放电机台温控装置，其特征在于：所述罩体（12）的底部具有开口，所述罩体（12）是热屏蔽罩体。

6.根据权利要求1所述的一种静电放电机台温控装置，其特征在于：所述温度检测部件（11）设置在罩体（12）的内部，所述温度检测部件（11）是温度传感器。

7.根据权利要求1所述的一种静电放电机台温控装置，其特征在于：所述显示箱（17）的内部包括运算放大器（13）、A/D转换器（14）和单片机（15），所述显示箱（17）的外壁前表面中心位置处固定安装有显示屏（16）。