[实用新型]一种带可拆卸陶瓷块式晶圆测试探针卡

说明书

本实用新型公开了一种带可拆卸陶瓷块式晶圆测试探针卡，包括测试探针卡，所述测试探针卡由专用印刷电路板PCB、针块夹具固定板、针块夹具本体、加强板和针体组成，所述专用印刷电路板PCB内部开设有针块夹具插槽，所述专用印刷电路板PCB内部贯穿有焊接接点，所述焊接接点的数量设置有多个，多个所述焊接接点等间距分布，所述焊接接点与针块夹具插槽外壁相匹配，所述专用印刷电路板PCB内部远离针块夹具插槽的一侧贯穿有针块夹具PCB紧固孔。本实用新型通过采用陶瓷块加工形式，从现有的针和树脂印刷电路板连接中，制成以块为单位的结构，使每个块可以独立移动，以解决平整度问题，同时具有可调节的特点。

技术领域

本实用新型涉及测试探针卡领域，具体涉及一种带可拆卸陶瓷块式晶圆测试探针卡。

背景技术

一般来说，对被测器件的测试是指探测分拣出生产阶段出现不良或有缺陷的元件，因此，探针卡通常用于半导体、硅晶片的切割及芯片封装前，通过接触集成于半导体或硅晶片上的电子元件来进行电性测试。

现有市面上的探针卡由接触PCB的线路图案和晶圆焊垫的探针组成，而每根探针在显微镜下焊接，所以很难调整针的长度和固定位置，根据焊垫的尺寸、排列、间隔和位置，针的制造过程受空间限制，所以针的生产数量将受限制，因此，半导体IC芯片的焊垫设计位置受到限制，在多芯片测试中也不可避免地受到限制，由于测试单芯片结构产品或存储器之类的大尺寸产品的特点，生产的芯片数量越多，就能节省更多成本，提高生产效率，传统的探针卡存在探针短且无法批量生产芯片的问题，随之其生产效率和可操作性较差。

本实用的目的通过新的结构变更，能够解决传统探针卡中存在的问题。

因此，发明一种带可拆卸陶瓷块式晶圆测试探针卡来解决上述问题很有必要。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种带可拆卸陶瓷块式晶圆测试探针卡，通过采用陶瓷块加工形式，从现有的针和树脂印刷电路板连接中，制成以块为单位的结构，使每个块可以独立移动，以解决平整度问题，同时具有可调节的特点。过去，针出现变形或故障时，整个探针卡都得废弃，而根据本发明设计，可以单独拆卸探针块进行维修或更换，因此便于维修，而且制造工艺更简单，以更多的探针和更快的操作速度大大提高了效率，与晶圆垂直形式构成接触结构，因此通过改善在悬臂式中出现的接触推挤现象，能够解决频繁发生的接点问题，以解决技术中的上述不足之处。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种带可拆卸陶瓷块式晶圆测试探针卡，包括测试探针卡，所述测试探针卡由专用印刷电路板PCB、针块夹具固定板、针块夹具本体、加强板和针体组成，所述专用印刷电路板PCB内部开设有针块夹具插槽，所述专用印刷电路板PCB内部贯穿有焊接接点，所述焊接接点的数量设置有多个，多个所述焊接接点等间距分布，所述焊接接点与针块夹具插槽外壁相匹配，所述专用印刷电路板PCB内部远离针块夹具插槽的一侧贯穿有针块夹具PCB紧固孔，所述针块夹具PCB紧固孔的数量设置有多个，所述针块夹具固定板内部贯穿有针块夹具板紧固孔，所述针块夹具板紧固孔的数量设置有多个，多个所述针块夹具板紧固孔关于针块夹具固定板的中轴线对称设置，所述针块夹具本体内部两侧均贯穿有针块夹具孔，所述针块夹具本体外壁两侧均固定连接有针块夹具紧固孔，所述针块夹具本体外壁固定连接有环氧树脂固定块杆，所述环氧树脂固定块杆内部贯穿有固定块杆紧固孔。

优选的，所述针块夹具插槽的数量设置有三个，每两个所述针块夹具插槽之间的距离相等。

优选的，所述针块夹具本体和针块夹具固定板由陶瓷材料制成。

优选的，所述固定块杆紧固孔的数量设置有两个，两个所述固定块杆紧固孔与针块夹具孔相对应。

优选的，所述专用印刷电路板PCB顶部设置有加强板，所述加强板与专用印刷电路板PCB相匹配。

优选的，所述焊接接点内部固定连接有针体，所述针体外壁设置有针涂层。