[实用新型]一种研磨液回收再利用系统

权利要求书

1.一种研磨液回收再利用系统，其特征在于：包括回收混合桶槽主体(1)、废液收集处理装置组合体(4)、废液收集桶(10)，所述废液收集处理装置组合体(4)内部装设有PFA过滤膜组合体(17)，所述PFA过滤膜组合体(17)用于对废液进行过滤，所述废液收集处理装置组合体(4)顶部的压力测试口(21)处装设有压力传感器(5)，所述废液收集处理装置组合体(4)底端设有化学品进液口(22)和化学品出液口(23)，所述化学品进液口(22)处设置有泄漏检测口(24)，所述泄漏检测口(24)处装设有泄漏传感器(6)，所述化学品出液口(23)通过PFA管道分别连接废液收集桶(10)、回收混合桶槽主体(1)，所述化学品出液口(23)与废液收集桶(10)之间的管道上装设有测量仪器仪表(9)，所述压力传感器(5)、泄漏传感器(6)、测量仪器仪表(9)分别通过线路连接PLC控制系统(8)。

2.如权利要求1所述的研磨液回收再利用系统，其特征在于：所述回收混合桶槽主体(1)采用SUS304内衬PFA材质，所述回收混合桶槽主体(1)配合连接有电子称主体(2)，所述电子称主体(2)外包覆聚丙烯PP板，所述电子称主体(2)通过线路连接电子秤表头(7)，所述电子秤表头(7)通过线路连接PLC控制系统(8)。

3.如权利要求1所述的研磨液回收再利用系统，其特征在于：所述回收混合桶槽主体(1)通过PFA波纹软管(3)连接化学品出液口(23)，所述回收混合桶槽主体(1)与PFA波纹软管(3)连接处设置有PTFE防腐密封垫片或PFA密封圈。

4.如权利要求1所述的研磨液回收再利用系统，其特征在于：所述废液收集处理装置组合体(4)包括上本体(11)和下本体(12)，所述上本体(11)、下本体(12)均采用SUS304外壳内衬PFA材质，所述上本体(11)与下本体(12) 通过连接紧固螺丝(13)连接为一体。

5.如权利要求4所述的研磨液回收再利用系统，其特征在于：所述废液收集处理装置组合体(4)内上部设置有固定压板上本体(16)，所述废液收集处理装置组合体(4)内下部设置有固定压板下本体(18)，所述固定压板上本体(16)、固定压板下本体(18)通过螺杆本体适配器(14)和螺杆锁紧螺母(15)固定在废液收集处理装置组合体(4)内，所述PFA过滤膜组合体(17)固定在固定压板上本体(16)与固定压板下本体(18)之间。

6.如权利要求5所述的研磨液回收再利用系统，其特征在于：所述固定压板上本体(16)、固定压板下本体(18)均设置为圆形板状，且固定压板上本体(16)、固定压板下本体(18)上均分布有通孔，所述固定压板下本体(18)开设有进液口，所述化学品进液口(22)通过管道延伸至固定压板下本体(18)的进液口。

7.如权利要求6所述的研磨液回收再利用系统，其特征在于：所述PFA过滤膜组合体(17)顶部设置有PFA过滤膜组合盖帽(20)，所述上本体(11)与下本体(12)相连接处设置有PTFE法兰垫圈(19a)及PFA密封圈(19b)。

8.如权利要求7所述的研磨液回收再利用系统，其特征在于：所述螺杆本体适配器(14)、螺杆锁紧螺母(15)、固定压板上本体(16)、固定压板下本体(18)、PFA过滤膜组合盖帽(20)均采用PTFE板材加工而成。

9.如权利要求7所述的研磨液回收再利用系统，其特征在于：所述废液收集处理装置组合体(4)中部外壁上安装有操作把手(28)，所述废液收集处理装置组合体(4)底端安装有装置固定支撑脚(30)。

10.如权利要求1所述的研磨液回收再利用系统，其特征在于：所述废液收集桶(10)置于电子秤二上，所述电子秤二通过线路连接电子秤表头(7)，并通过电子秤表头(7)连接PLC控制系统(8)。