[实用新型]一种超纯铍超真空分子蒸馏系统

权利要求书

1.一种超纯铍超真空分子蒸馏系统，其特征在于，包括超真空抽气及真空控制单元、设于所述超真空抽气及真空控制单元底部的氧化铍陶瓷坩埚蒸馏单元和加温装置及温控单元；

所述超真空抽气单元包括原料贮罐(2)、真空给料模块(4)、成品接收模块(15)以及控制真空的全量程复合真空规A1(5)，所述原料贮罐(2)的顶部设有给料口(1)，所述原料贮罐(2)的侧面设有视镜(3)，所述真空给料模块(4)和所述全量程复合真空规A1(5)分别设于所述原料贮罐(2)的底部，所述真空给料模块(4)和所述全量程复合真空规A1(5)之间设有粗钵入口(6)，所述粗钵入口(6)上设有原料定量推杆，所述成品接收模块(15)包括氧化陶瓷坩埚金属铍接收皿(16)和接收模块温度变送器(24)；

所述氧化铍陶瓷坩埚蒸馏单元包括氧化铍坩埚(10)和坩埚支撑座(9)，所述氧化铍坩埚(10)的顶部连接于所述粗钵入口(6)，所述氧化铍坩埚(10)的两侧分别设有低沸点金属蒸馏出口(25)和高沸点金属蒸馏出口(26)，所述氧化铍坩埚(10)的内部设有蒸馏腔(27)，所述蒸馏腔(27)的外壁设有连体式加热棒插入口(11)和加热温控元件，所述氧化铍坩埚(10)的底部设有温度变送器(8)，所述温度变送器(8)的底部设有成品出口(13)，所述坩埚支撑座(9)设于所述氧化铍坩埚(10)的底部，所述坩埚支撑座(9)下设有检修口(12)；

所述加温装置及温控单元包括低温超真空泵(14)、设于所述低温超真空泵(14)两侧的轻相真空管道(17)、重相真空管道(22)和控制真空的全量程复合真空规A2(23)，所述低温超真空泵(14)设于所述成品出口(13)的底部，所述轻相真空管道(17)通过轻相接收器(18)连接于所述低沸点金属蒸馏出口(25)，所述重相真空管道(22)通过重相接收器(20)连接于所述高沸点金属蒸馏出口(26)。

2.根据权利要求1所述的一种超纯铍超真空分子蒸馏系统，其特征在于：所述真空给料模块(4)的底部设有给料模块支撑装置(7)。

3.根据权利要求1所述的一种超纯铍超真空分子蒸馏系统，其特征在于：所述连体式加热棒插入口(11)内置镍合金加热棒，所述氧化铍坩埚(10)与所述镍合金加热棒一次成形。

4.根据权利要求1所述的一种超纯铍超真空分子蒸馏系统，其特征在于：所述轻相接收器(18)和所述重相接收器(20)上均设有接收器视镜(19)。

5.根据权利要求1所述的一种超纯铍超真空分子蒸馏系统，其特征在于：所述氧化铍坩埚(10)采用高纯金属铍高温氧化制得。