[实用新型]一种风囊定容器微量可调系统

说明书

本实用新型涉及一种风囊定容器微量可调系统，包括风囊定容器，风囊定容器包括风囊定容器主体，风囊定容器主体顶端盖设有定容器本体盖，风囊定容器内设有螺杆本体，螺杆本体外围套设有风囊伸缩管主体，定容器本体盖上开设有化学品进液口、进气口以及泄漏检测口，风囊定容器主体底部开设有化学品出液口，泄漏检测口处装设有压力传感器、泄漏传感器，化学品出液口通过PFA波纹软管连接混合桶槽主体，混合桶槽主体置于电子称主体上，电子称主体、压力传感器、泄漏传感器通过线路连接PLC控制系统；本实用新型能够微量控制容器的容量精度，使得混合原液容量的精准控制，从何确保稀释浓度要求，且更大程度上考虑操作人员的安全，整个过程安全可靠。

[技术领域]

本实用新型涉及研磨浆料供应技术领域，具体地说是一种风囊定容器微量可调系统。

[背景技术]

随着我国半导体行业的不断发展，集成电路生产线在我国也已开始越来越规模化。半导体制程前端的化学品供应系统，其工作中的任何问题都可能会造成不可估量的损失，因此为了不断提高化学品供应系统的稳定性和可靠性。半导体制造厂商已越来越重视该制程中的每一个化学品供应设备，在半导体制造工艺中，经常要使用到同一种药品的不同浓度的药品，例如HF49％、HF5％、HF1％、 HF0.5％等，很多厂商因此设计制造专门的混酸稀释供应设备，将控制一定量的高浓度原液直接添加到纯水中，调配出目标浓度的药品。这些稀释设备的核心就是通过控制原液添加量来测量稀释结果的浓度计，浓度计通过测量药液的电导率，按照某种算法，转换成药液的浓度,能够及时在线检测到药液的浓度,通过调节原液添加量来改变化学品浓度，达到规定的浓度，在工业上的应用十分广泛。

随着IC制程技术的不断进步，半导体工业的飞速发展,对浓度的要求越来越严格，例如TMAH2.38％，从最初的2.38％±0.03％提高到2.38％±0.003％，但市场上普遍存在的电导率式浓度计，浓度精度为±0.01％左右，不能满足需求，需要精度为±0.001％的浓度计。同时，由于原液进入量的无法精准控制，导致精度不稳定，需要反复调节添加原液和混合过程，而且会有混合失败的风险造成浪费。为了满足上述精度控制要求,就要求有更高精度的控制原液添加量，并且需要满足可调节原液量的装置从源头上解决这个难题，同时电子级化学品混酸供应系统需要满足超洁净的混合供应环境(CLASS 100)，和更安全的操作(满足SEMI有关标准)要求。若能开发这种可调节的风囊式定容器微量可调装置，以满足制程需求和解决上述的不足并方便制造且结构可靠性高，同时采用PLC 控制不仅能够消除技术人员操作时的人为误差，还具有操作参数管理功能，能够保存、修改和重复使用各种操作参数，能够建立、保存、使用各种自定义的操作方法，十分的简洁方便。

此外，随着我国半导体行业的不断发展，化学品品种越来越多，国内对化学品浓度的要求越来越严格,精度越来越高。由于原液进入量的无法精准控制，导致精度不稳定，需要反复调节添加原液和混合过程，而且会有混合失败的风险造成浪费。国内的定量容器无法达到制程需求并随着需求改变而调节，设计上安全保护措施也不充分等问题。所以，若能提供一种风囊定容器微量可调系统装置以解决上述的不足，并使得操作方便，大大提高工作效率和安全性，将具有非常重要的意义。

[实用新型内容]

本实用新型的目的就是要解决上述的不足而提供一种风囊定容器微量可调系统，能够微量控制容器的容量精度，使得混合原液容量的精准控制，从何确保稀释浓度要求，且更大程度上考虑操作人员的安全，整个过程安全可靠。