[实用新型]一种晶圆超净空间隔离盒内的固定架

权利要求书

1.一种晶圆超净空间隔离盒内的固定架，包括存放盒(2)，其特征在于：所述存放盒(2)底部的左右两侧均固定安装有电动推杆(3)，所述存放盒(2)的内腔固定安装有数量为两个的隔板(4)，底部所述隔板(4)顶部的左右两侧均固定安装有第一限位套杆(1)，顶部所述隔板(4)底部的左右两侧均固定安装有一端与第一限位套杆(1)活动连接的限位插杆(8)，所述隔板(4)的顶部固定安装有数量为三个的固定板(5)，所述固定板(5)底部的左右两侧均固定安装有一端与隔板(4)固定连接的侧板(7)，所述固定板(5)的顶部活动安装有转动环(6)，所述转动环(6)的底部固定安装有一端与固定板(5)活动连接的螺杆(19)，所述螺杆(19)的外侧活动安装有移动套杆(18)，所述移动套杆(18)的底部固定安装有下压板(17)，所述下压板(17)的左右两侧均固定安装有第二限位套杆(16)，两个所述侧板(7)相对的一侧均固定安装有一端与第二限位套杆(16)活动连接的竖杆(15)，两个所述侧板(7)之间的底部活动安装有底座(14)，所述底座(14)底部的左右两侧均固定安装有伸缩杆(11)，所述底座(14)的底部且位于两个伸缩杆(11)之间固定安装有一端与隔板(4)活动连接的活动插杆(12)，所述活动插杆(12)的外侧固定安装有连接弹簧(13)，所述底座(14)的左右两侧均固定安装有一端与侧板(7)活动连接的滚轮(10)，所述底座(14)与伸缩杆(11)相对的一侧均固定安装有弹性垫(9)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆超净空间隔离盒内的固定架，其特征在于：所述固定板(5)的顶部固定安装有轴承，且固定板(5)通过轴承与螺杆(19)活动连接，所述移动套杆(18)与下压板(17)呈九十度垂直安装。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆超净空间隔离盒内的固定架，其特征在于：所述移动套杆(18)的顶部开设有螺纹孔，且螺纹孔与螺杆(19)相适配，所述固定板(5)的数量为六个。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆超净空间隔离盒内的固定架，其特征在于：底部所述隔板(4)底部的左右两侧均固定安装有安装环，且隔板(4)通过安装环与电动推杆(3)固定连接，所述存放盒(2)的左右两侧壁均固定安装有观察窗。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆超净空间隔离盒内的固定架，其特征在于：所述第二限位套杆(16)的顶部开设有通孔，且通孔与竖杆(15)相适配，所述活动插杆(12)与底座(14)呈九十度垂直安装。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆超净空间隔离盒内的固定架，其特征在于：所述隔板(4)的底部开设有穿孔，且穿孔与活动插杆(12)相适配，两个所述电动推杆(3)以存放盒(2)的中垂线呈对称分布。