[实用新型]一种手动测试平台快速移动机构

说明书

本实用新型公开了一种手动测试平台快速移动机构，凸台和底板的中部位置安装有铁磁底板；沿铁磁底板左、右两侧边的外侧各安装有一根Y向直线导轨；两侧Y向直线导轨之间安装有X向直线导轨，X向直线导轨的底部安装有X向连接板，X向连接板与Y向直线导轨连接；X向直线导轨的表面设置有微调连接板；微调连接板上设置有Y向微调千分尺、X向微调千分尺和θ向微调千分尺；微调连接板的后方边缘的左端安装有电磁铁；X向直线导轨上、微调连接板的左侧设置有移动握持手柄且移动握持手柄上安装有自复位电源开关。本申请提高了承片台XY方向平面运动的效率；减轻了操作者的劳动强度；整体操作流程更符合人体工程学。

技术领域

本实用新型涉及探针台，具体涉及一种手动测试平台快速移动机构。

背景技术

探针台主要应用在半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMS，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC 设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。价格适中，稳定性强，可升级扩展，操作方便；在各大高校、研究所及半导体行业应用较广；

探针台是一种辅助执行机构，测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台(chuck)上，在显微镜配合下，X-Y移动器件，找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮，控制前部探针 (射频或直流探针)，精准扎到被测点，从而使其讯号线与外部测试机导通，通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。

现有的手动探针台XY方向采用丝杠式设计，通过旋转XY方向的握持旋钮，来达到承片台结构平面方向的移动。由此，承片台的运动速度取决于旋转旋钮的速度，旋钮转一圈，承片台移动的距离为其相对应的丝杠导程距离而决定，往往高精度的丝杠，导程很多，多为1mm，2mm，那么假设测试一片6英寸的晶圆，换算下来就是直径150mm，如果使用此种承片台移动结构，从最左点移动至最右点或者最上点移动至最下点，需要旋转150圈或者75圈，移动效率低存在操作疲劳，对于长时间持续测试的操作人员来说非常不人性化。针对上述所提出的问题,本方案提出了一种手动测试平台快速移动机构。

发明内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种手动测试平台快速移动机构。

根据本申请实施例提供的技术方案，一种手动测试平台快速移动机构，包括承片台、Y向直线导轨、Y向微调千分尺、移动握持手柄、自复位电源开关、铁磁底板、X向直线导轨、X向微调千分尺、θ向微调千分尺、电磁铁、底板和固定座；沿所述底板的正前方边缘向外凸出设有凸台，所述凸台位于所述承片台的中部；在所述凸台和底板的中部位置安装有所述铁磁底板；在所述底板和凸台的表面、沿所述铁磁底板左、右两侧边的外侧各安装有一根所述Y向直线导轨；在两侧所述Y向直线导轨之间安装有所述X向直线导轨，在所述X向直线导轨的底部安装有X向连接板，所述X向连接板的背面与Y向直线导轨上的滑块固定连接；在所述X向直线导轨的表面设置有微调连接板且所述微调连接板通过螺栓与X向直线导轨的滑块连接；在所述微调连接板上设置有Y向微调千分尺、X向微调千分尺和θ向微调千分尺；在所述微调连接板的后方边缘的左端安装有所述电磁铁,所述电磁铁位于所述铁磁底板的上方；在所述X向直线导轨上、所述微调连接板的左侧设置有所述移动握持手柄且在所述移动握持手柄上安装有所述自复位电源开关；在所述固定座的上表面固定设置有所述承片台。

本实用新型中，所述电磁铁通过导线与自复位电源开关串联连接。

本实用新型中，左、右两侧的所述Y向直线导轨之间呈对称状设置。

本实用新型中，所述Y向微调千分尺和θ向微调千分尺均设置于所述微调连接板的正前方且沿所述微调连接板的竖向中线设置，所述θ向微调千分尺位于所述Y向微调千分尺的正上方；所述X向直线导轨设置于所述微调连接板的左侧面且沿所述微调连接板的竖向中线设置，所述 X向直线导轨的设置高度位于所述Y向微调千分尺的下方。

本实用新型中，所述铁磁底板位于所述X向直线导轨的下方。