[实用新型]一种硅棒切割后的水洗脱胶装置有效
申请号: | 202021841349.5 | 申请日: | 2020-08-28 |
公开(公告)号: | CN213593323U | 公开(公告)日: | 2021-07-02 |
发明(设计)人: | 张桂荣 | 申请(专利权)人: | 张桂荣 |
主分类号: | B28D7/00 | 分类号: | B28D7/00;B28D5/00;B08B3/10 |
代理公司: | 广州越华专利代理事务所(普通合伙) 44523 | 代理人: | 陈岑 |
地址: | 510801 广东省广州*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 切割 水洗 脱胶 装置 | ||
本实用新型提供一种硅棒切割后的水洗脱胶装置,属于新型涉及水洗脱胶装置技术领域,该一种硅棒切割后的水洗脱胶装置,包括底板,所述底板的上端通过螺栓固定有支座,支座的顶端焊接有立架,立架的一侧通过螺栓固定有滑轨,滑轨配合使用有滑块,滑块的端面通过螺栓连接有送料架,送料架的上端通过螺栓连接有减速机二,减速机二的输入轴连接电机二的输出轴,电机二通过螺栓固定于减速机二的顶端;减速机二的输出轴固定连接有柔性接头,柔性接头的下端通过螺栓连接有固定板,固定板的下端通过螺栓连接有硅棒夹头。通过设置电机二,带动柔性接头,使得硅棒在脱胶液中搅动,脱胶剂充分与单晶硅棒进行反应,提高了脱胶的效率和质量。
技术领域
本实用新型涉及水洗脱胶装置技术领域,具体涉及一种硅棒切割后的水洗脱胶装置。
背景技术
在现有技术中,在电子元件的生产工艺中,我们会需要使用到单晶硅片,它是在通过滚磨、倒角后的单晶硅棒上切割出来的,而单晶硅棒是通过区熔或直拉工艺在炉膛中整形或提拉形成的。同时在单晶硅棒切割后需要进行脱胶处理。
经过检索发现,在授权公告号为CN209034995U的中国专利中公开了一种一种硅棒切割后的水洗脱胶装置,包括主体箱,所述主体箱底部四角外壁均通过螺栓固定有支撑板,且四个支撑板底部外壁均通过螺纹连接有底座,所述主体箱底部外壁通过螺栓固定有鼓风机,且鼓风机出风口通过螺纹连接有导管,所述主体箱底部外壁开有插孔,且插孔内壁插接有导管,所述主体箱底部内壁通过螺栓固定有分流管,且分流管底部外壁通过螺纹与导管的一端相连接,所述分流管顶部外壁通过螺纹连接有气嘴。
但是上述技术方案由于采用吹气搅动脱胶液的方式,因此还存在脱胶液搅动效果不佳,脱胶效率低的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种硅棒切割后的水洗脱胶装置,旨在解决现有技术中的脱胶液搅动效果不佳,脱胶效率低的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种硅棒切割后的水洗脱胶装置,包括底板,所述底板的上端通过螺栓固定有支座,支座的顶端焊接有立架,立架的一侧通过螺栓固定有滑轨,滑轨配合使用有滑块,滑块的端面通过螺栓连接有送料架,送料架的上端通过螺栓连接有减速机二,减速机二的输入轴连接电机二的输出轴,电机二通过螺栓固定于减速机二的顶端;减速机二的输出轴固定连接有柔性接头,柔性接头的下端通过螺栓连接有固定板,固定板的下端通过螺栓连接有硅棒夹头,对硅棒夹头的数量不加限定,本实施例中,优选的,硅棒夹头的数量为六个。
为了使得脱胶液中有效成分在单晶硅棒间充分接触,强化脱胶效果,作为本实用新型一种优选的,所述底板的上端通过螺栓固定有脱胶缸,脱胶缸的底端转动连接有涡扇连接杆,涡扇连接杆的上端通过螺纹连接有涡扇;所述涡扇连接杆的下端通过键连接有减速机一的输出轴,减速机一通过键连接电机一的输出轴,电机一通过螺栓固定于减速机一的顶端。
为了方便现场工人更换硅棒,作为本实用新型一种优选的,所述立架的内侧通过螺栓连接有丝杆固定侧,丝杆固定侧配合使用有丝杆,丝杆的末端配合使用有丝杆支撑侧,丝杆的顶端通过键连接有联轴器,联轴器通过键连接有减速机三的输出轴,减速机三通过键连接有电机三的输出轴,电机三通过螺栓固定于减速机三的顶端;所述丝杆的中间通过螺栓连接有丝杆螺帽支架,丝杆螺帽支架通过螺栓连接有螺帽连接块,螺帽连接块焊接于送料架的一侧。
为了方便现场工人清理脱胶缸,以及准备脱胶的前期条件,作为本实用新型一种优选的,所述脱胶缸的上端一侧焊接有进液管,进液管的末端焊接有进液漏斗;所述脱胶缸的下端一侧焊接有排液管,排液管的末端通过螺纹连接有排液阀。
为了提高整个装置的稳定性与安全性,作为本实用新型一种优选的,所述底板焊接固定于机架的顶端,机架的底端通过螺栓连接有地脚,对地脚的种类不加限定,本实施例中,优选的,地脚的种类为重载型。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
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