[实用新型]一种外点火炉有效
申请号: | 202021843205.3 | 申请日: | 2020-08-28 |
公开(公告)号: | CN212805731U | 公开(公告)日: | 2021-03-26 |
发明(设计)人: | 刘明利;林凡辉;胡思健 | 申请(专利权)人: | 青岛赛尔微电子有限公司 |
主分类号: | F23Q13/00 | 分类号: | F23Q13/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 266000 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 火炉 | ||
本实用新型涉及扩散炉设备技术领域,且公开了一种外点火炉,解决了目前扩散炉外点火炉一体式结构不能快速便捷的进行拆卸、安装和移动的问题,其包括外点火炉本体,所述外点火炉本体的底部设有连接架,外点火炉本体底部的两侧均通过固定桩与连接架的顶部固定相连接,连接架的底部设有固定座,连接架安装在固定座的顶部,连接架中部的两侧均安装有控制机构,连接架下部的两侧均安装有连接机构,固定座顶部的中部开设有连接槽;本外点火炉能够便捷有效的进行安装、拆卸和移动,同时安装操作过程简单,且能够保持有效的牢固性,而拆卸与移动操作过程也较为方便,没有复杂的操作流程,从而在使用的过程中能够满足人们的使用。
技术领域
本实用新型属于扩散炉设备技术领域,具体为一种外点火炉。
背景技术
扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一,用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺,扩散炉在半导体晶圆制造过程中起到了重要的作用;而扩散炉外点火炉随着技术的发展,也成为了扩散炉的主要配套设备。
目前的扩散炉外点火炉多为一体式结构,一体式结构在使用的过程中存在极大的不便,其不能快速便捷的进行拆卸、安装和移动,从而不能满足人们的使用需求;因此,针对目前的状况,现需对其进行改进。
实用新型内容
针对上述情况,为克服现有技术的缺陷,本实用新型提供一种外点火炉,有效的解决了目前扩散炉外点火炉一体式结构不能快速便捷的进行拆卸、安装和移动的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种外点火炉,包括外点火炉本体,所述外点火炉本体的底部设有连接架,外点火炉本体底部的两侧均通过固定桩与连接架的顶部固定相连接,连接架的底部设有固定座,连接架安装在固定座的顶部,连接架中部的两侧均安装有控制机构,连接架下部的两侧均安装有连接机构,固定座顶部的中部开设有连接槽,两个连接机构的一端均活动卡接在连接槽的内部,固定座顶部的两个均开设有控制槽,两个控制槽的内部均安装有顶动机构。
优选的,所述顶板、底板、连接销和安装槽,连接销固定连接在顶板和底板相对侧的四角处,安装槽开设在底板两侧的中部,固定桩的底部与顶板的顶部固定相连接。
优选的,两个所述控制机构均包括一对固定柱、固定轴、U形杆和实心辊,固定轴固定安装在一对固定柱之间,U形杆活动安装在固定轴的表面,实心辊活动安装在U形杆的两端之间。
优选的,所述U形杆的中部固定安装有抵触板,抵触板的一侧开设有弧形槽。
优选的,所述连接机构包括曲板、转动轴、第一弹簧和卡块,转动轴固定安装在曲板的中部,第一弹簧固定安装在曲板顶部的中部,卡块固定安装在曲板一端部的两侧,连接槽两侧的两端均开设有梯形卡槽,卡块活动卡接在梯形卡槽的内部。
优选的,所述顶动机构包括第二弹簧和顶动板,第二弹簧固定安装在控制槽的底部,顶动板固定安装在第二弹簧的顶部。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
(1)、在工作中,通过设置有顶板、底板、连接销、安装槽、固定桩、固定座、固定柱、固定轴、U形杆、实心辊、抵触板、曲板、转动轴、第一弹簧、卡块、连接槽、梯形卡槽、控制槽、第二弹簧和顶动板,使本外点火炉能够便捷有效的进行安装、拆卸和移动,同时安装操作过程简单,且能够保持有效的牢固性,而拆卸与移动操作过程也较为方便,没有复杂的操作流程,从而在使用的过程中能够满足人们的使用;
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