[实用新型]一种洁净厌氧高温气氛炉

说明书

本实用新型公布了一种洁净厌氧高温气氛炉，包括外箱体和嵌设在所述外箱体内的内箱体，所述内箱体包括动力腔、过滤腔和干燥腔，所述动力腔内设有循环风机和氮气输送装置，所述过滤腔内设有过滤器；所述动力腔、过滤腔和干燥腔依次相互连通形成内循环风道。本实用新型将内箱体分隔成依次相互连通的动力腔、过滤腔和干燥腔，形成内循环风道，通过动力腔内设置的氮气输送装置和循环风机置换内箱体内的空气，并利用过滤腔内的设置的过滤器对经过的气流进行过滤并排离废气，在内箱体内形成洁净的低氧浓度环境；氮气充斥在内箱体内，通过进氮气和排氮气平衡的方式，使内箱体内处于微正压状态，防止环境空气进入内箱体，保证了成品的高品质加工生产。

技术领域

本实用新型涉及气氛炉技术领域，特别是涉及一种洁净厌氧高温气氛炉。

背景技术

气氛炉，是在某一既定温度下，向炉内通入一定成分的人工制备气氛，以达到某种热处理的目的，如气体渗碳，碳氮共渗及光亮淬火等等。随着社会的进步和科学的发展，为满足各种高精器件的生产要求，如半导体晶圆光刻胶的固化、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等，需要对气氛炉进行改进，使其可以在相应生产工序上得到应用。

如半导体晶圆光刻胶的加热固化过程中，为防止半导体材料受到污染并避免半导体材料表面氧化，需要保持气氛炉内的高洁净度和低氧浓度条件，而目前的现有技术中缺乏这样一种气氛炉。

实用新型内容

基于此，有必要针对上述问题，提供一种洁净厌氧高温气氛炉，能够保持炉内的高洁净度，并有效防止材料氧化，保证工件成品品质。

一种洁净厌氧高温气氛炉，包括外箱体和嵌设在外箱体内的内箱体，内箱体包括动力腔、过滤腔和干燥腔，动力腔内设有循环风机和氮气输送装置，过滤腔内设有过滤器；动力腔、过滤腔和干燥腔依次相互连通形成内循环风道。

在其中一个实施例中，还包括箱门，箱门包括门板和设置在门板上用于封闭内箱体的密封腔；门板与外箱体活动连接，密封腔内和/或密封腔周围设置有冷却管。

在其中一个实施例中，密封腔设有若干进气孔和若干出气孔，干燥腔与密封腔通过若干进气孔连通，动力腔与密封腔通过若干出气孔连通。

在其中一个实施例中，内箱体还包括冷却腔，冷却腔内设有冷却装置；动力腔与过滤腔通过冷却腔连通。

在其中一个实施例中，动力腔内还设有加热装置；动力腔置于内箱体的下侧，过滤腔置于内箱体的后侧。

在其中一个实施例中，动力腔的进风口与干燥腔连通，动力腔的出风口与过滤腔连通。

在其中一个实施例中，还包括氧浓度监测仪，氧浓度监测仪设置在外箱体内，并与干燥腔连通。

在其中一个实施例中，还包括废气冷却装置，废气冷却装置设置在外箱体外，并位于外箱体后侧，且与过滤腔连通。

在其中一个实施例中，还包括磁流体密封装置，磁流体密封装置设置在外箱体内，并位于内箱体下方，且与内箱体连接。

在其中一个实施例中，还包括抽真空装置，抽真空装置设置在外箱体内，并位于内箱体下方，且与内箱体连接。

与现有技术相比，本实用新型将内箱体分隔成动力腔、过滤腔和干燥腔，并使动力腔、过滤腔和干燥腔依次相互连通，形成内循环风道，通过动力腔内设置的氮气输送装置和循环风机置换内箱体内的空气，并利用过滤腔内的设置的过滤器对经过的气流进行过滤并排离废气，在内箱体内形成洁净的低氧浓度环境；氮气充斥在内箱体内，通过保持氮气进入和排出的平衡，使内箱体内处于微正压状态，能够防止环境空气进入内箱体，保证了工件的高品质的加工生产。

附图说明