[实用新型]石墨舟预热冷却系统及石墨舟预热与炉体冷却系统

权利要求书

1.一种石墨舟预热冷却系统，其特征在于：包括半导体加热单元(1)、预热箱(2)和缓存架(3)，所述预热箱(2)一端具有箱门(21)，所述半导体加热单元(1)的热端设有热媒输出管(11)和热媒输入管(12)，且冷端设有冷媒输出管(13)和冷媒输入管(14)，所述预热箱(2)的内壁上设有热媒管道(41)，所述热媒管道(41)的入口与热媒输出管(11)接通，且出口与热媒输入管(12)接通，所述缓存架(3)具有存放石墨舟(5)的缓存位(31)，所述缓存位(31)上设有冷媒管道(42)，所述冷媒管道(42)的入口与冷媒输出管(13)接通，且出口与冷媒输入管(14)接通。

2.根据权利要求1所述的石墨舟预热冷却系统，其特征在于：所述预热箱(2)内壁设有多根热媒管道(41)，各热媒管道(41)沿内壁周向呈环形布置，且各热媒管道(41)相互平行，各热媒管道(41)的入口连接一个预热箱热媒总入口(411)，各热媒管道(41)的出口连接一个预热箱热媒总出口(412)。

3.根据权利要求2所述的石墨舟预热冷却系统，其特征在于：所述预热箱(2)包括箱体外壳(22)和箱体保温层(23)，各热媒管道(41)嵌在箱体保温层(23)内；所述预热箱(2)内设有可与各热媒管道(41)热交换的第一换热器。

4.根据权利要求1至3任意一项所述的石墨舟预热冷却系统，其特征在于：所述热媒管道(41)上接有补热剂支管(43)，所述冷媒管道(42)上接有补冷剂支管(44)。

5.根据权利要求1至3任意一项所述的石墨舟预热冷却系统，其特征在于：所述冷媒管道(42)的下方设有向上吹风的风机(6)。

6.根据权利要求1至3任意一项所述的石墨舟预热冷却系统，其特征在于：所述缓存位(31)上设有多根冷媒管道(42)，且各冷媒管道(42)相互平行，各冷媒管道(42)的入口连接一个缓存位冷媒总入口(421)，各冷媒管道(42)的出口连接一个缓存位冷媒总出口(422)；所述缓存位(31)设有可与各冷媒管道(42)热交换的第二换热器。

7.一种石墨舟预热与炉体冷却系统，其特征在于：包括半导体加热单元(1)、预热箱(2)和炉体(7)，所述预热箱(2)一端具有箱门(21)，所述半导体加热单元(1)的热端设有热媒输出管(11)和热媒输入管(12)，且冷端设有冷媒输出管(13)和冷媒输入管(14)，所述预热箱(2)的内壁上设有热媒管道(41)，所述热媒管道(41)的入口与热媒输出管(11)接通且出口与热媒输入管(12)接通，所述炉体(7)外周设有冷媒管道(42)，所述冷媒管道(42)的入口与冷媒输出管(13)接通且出口与冷媒输入管(14)接通。

8.根据权利要求7所述的石墨舟预热与炉体冷却系统，其特征在于：所述冷媒管道(42)设置多根，各冷媒管道(42)沿周向呈环形布置，且各冷媒管道(42)相互平行，各冷媒管道(42)的入口连接一个炉体冷媒总入口(423)，各冷媒管道(42)的出口连接一个炉体冷媒总出口(424)，所述炉体冷媒总入口(423)低于炉体冷媒总出口(424)。

9.根据权利要求7所述的石墨舟预热与炉体冷却系统，其特征在于：所述炉体(7)的两端设有密封法兰(8)，所述密封法兰(8)内设有环形冷媒管道(81)，所述环形冷媒管道(81)的入口与冷媒输出管(13)接通且出口与冷媒输入管(14)接通。

10.根据权利要求7所述的石墨舟预热与炉体冷却系统，其特征在于：还包括缓存架(3)，所述缓存架(3)具有存放石墨舟(5)的缓存位(31)，所述缓存位(31)上设有冷媒管道(42)，所述冷媒管道(42)的入口与冷媒输出管(13)接通且出口与冷媒输入管(14)接通。