[实用新型]一种干式超声波清洗装置

权利要求书

1.一种干式超声波清洗装置，其特征在于，其包括：

壳体，其一端设置有密封法兰，所述密封法兰内设置有一接头；

压力腔，其设置于所述壳体内，所述压力腔内安装有多个超声波发生器，所述超声波发生器底部设置有用于向待清洗的物体表面喷出气流的喷射狭缝；

进气通道，其设置于所述压力腔的上侧，所述进气通道与所述超声波发生器相连通，所述进气通道通过所述接头与进气管相连；

抽气单元，其设置于所述压力腔的两侧，所述抽气单元用于收集从待清洗的物体表面吹扫出的杂质。

2.根据权利要求1所述的干式超声波清洗装置，其特征在于，所述超声波发生器由数组空腔排布而成。

3.根据权利要求1所述的干式超声波清洗装置，其特征在于，所述喷射狭缝呈倾斜10-20°。

4.根据权利要求1所述的干式超声波清洗装置，其特征在于，所述超声波发生器包括依次连通的第一水平空腔、第一垂直流道、第二水平空腔、第二垂直流道和第三水平空腔。

5.根据权利要求4所述的干式超声波清洗装置，其特征在于，所述第一水平空腔的纵截面呈三角形。

6.根据权利要求4所述的干式超声波清洗装置，其特征在于，所述第二水平空腔、所述第三水平空腔的纵截面形状分别选自矩形、圆形、弧形和梯形中的任意一种。

7.根据权利要求1所述的干式超声波清洗装置，其特征在于，所述压力腔内安装有多个平行排布的超声波发生器，所述进气通道与每个所述超声波发生器之间分别设置有通气孔，沿着远离所述进气管的方向通气孔的直径逐渐增大。

8.根据权利要求1所述的干式超声波清洗装置，其特征在于，所述压力腔内安装有多个超声波发生器，相邻的所述超声波发生器之间设置有密封垫。

9.根据权利要求1所述的干式超声波清洗装置，其特征在于，所述抽气单元包括：

至少一个真空腔，其设置于所述压力腔的一侧处，所述真空腔与所述压力腔的底部平行；所述真空腔底部设置有吸气狭缝；

至少一个抽气通道，其设置于所述真空腔的上方并与其相连通；

抽气组件，其分别通过连接管路与抽气通道相连，所述抽气组件用于通过所述抽气通道使所述真空腔内产生负压。

10.根据权利要求9所述的干式超声波清洗装置，其特征在于，所述真空腔纵截面形状呈倾斜的水滴形。