[实用新型]一种适用于光电芯片测试系统的探针夹具

权利要求书

1.一种适用于光电芯片测试系统的探针夹具，其特征在于，包括：用于量化光电探针(6)压力值的压力检测组件和用于夹持所述光电探针(6)的滑动夹紧组件；

所述光电探针(6)设有探针段、水平段以及安装段，且所述探针段用于与被测芯片接触；

所述压力检测组件包括：安装部(1)和压力传感器(2)；所述安装部(1)底部开设有通槽；所述压力传感器(2)与所述通槽平行设置，其一端与所述安装部(1)底部一侧固接，且其另一端固接有连接部(3)；

所述滑动夹紧组件包括：与所述连接部(3)固接的固定部(4)和能够在所述固定部(4)上自由移动的滑动夹紧部(5)；所述固定部(4)远离所述连接部(3)一侧的表面设置有相邻设置的容纳槽和通孔，且所述通孔远离所述固定部(4)的端部；所述容纳槽用于容纳所述水平段，所述通孔用于放置所述安装段。

2.根据权利要求1所述的一种适用于光电芯片测试系统的探针夹具，其特征在于，所述滑动夹紧部(5)上设置有两个对称设置的手持部(8)。

3.根据权利要求2所述的一种适用于光电芯片测试系统的探针夹具，其特征在于，所述手持部(8)可拆卸地与所述滑动夹紧部(5)侧壁连接。

4.根据权利要求1所述的一种适用于光电芯片测试系统的探针夹具，其特征在于，还包括：用于辅助所述滑动夹紧部(5)夹持所述光电探针(6)的辅助夹紧部(7)。

5.根据权利要求1所述的一种适用于光电芯片测试系统的探针夹具，其特征在于，所述安装部(1)顶部还设置有连接件，用于与调整座固接。

6.根据权利要求1所述的一种适用于光电芯片测试系统的探针夹具，其特征在于，所述连接部(3)可拆卸地与所述固定部(4)的一端连接。

7.根据权利要求1所述的一种适用于光电芯片测试系统的探针夹具，其特征在于，还包括：与所述压力传感器(2)电连接的控制系统。