[实用新型]一种气体自动纯化装置有效

专利信息
申请号: 202021852450.0 申请日: 2020-08-29
公开(公告)号: CN212283487U 公开(公告)日: 2021-01-05
发明(设计)人: 崔安卫;李军宏 申请(专利权)人: 陕西中业金微材料科技有限公司
主分类号: B01D53/26 分类号: B01D53/26;B01J19/14;C01B3/04;C01B3/50
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 712200 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 气体 自动 纯化 装置
【权利要求书】:

1.一种气体自动纯化装置,包括第一干燥器(1)、第二干燥器(2)、氨分解气输入管道(3)、纯气输出管道(5)、再生气输入管道(9)和再生气输出管道(14),其特征在于:所述第一干燥器(1)和第二干燥器(2)的氨分解气进口分别与氨分解气输入管道(3)管道连接,所述第一干燥器(1)与氨分解气输入管道(3)的连接管道上以及第二干燥器(2)与氨分解气输入管道(3)的连接管道上均设有工作进气阀门(4),所述第一干燥器(1)和第二干燥器(2)的纯气出口分别与纯气输出管道(5)管道连接,所述第一干燥器(1)与纯气输出管道(5)的连接管道上以及第二干燥器(2)与纯气输出管道(5)的连接管道上均设有工作出气阀门(6),所述纯气输出管道(5)上依次设有纯气出气阀门(7)和纯气流量计(8),所述第一干燥器(1)和第二干燥器(2)的再生气进口分别与再生气输入管道(9)管道连接,所述第一干燥器(1)与再生气输入管道(9)的连接管道上以及第二干燥器(2)与再生气输入管道(9)的连接管道上均设有再生气进气阀门(10),所述再生气输入管道(9)上依次设有氮气进口阀门(11)、氮气进气阀门(12)和再生气流量计(13),所述第一干燥器(1)和第二干燥器(2)的再生气出口分别与再生气输出管道(14)管道连接,所述第一干燥器(1)与再生气输出管道(14)的连接管道上以及第二干燥器(2)与再生气输出管道(14)的连接管道上均设有再生气出气阀门(15)。

2.根据权利要求1所述的一种气体自动纯化装置,其特征在于:所述工作进气阀门(4)、工作出气阀门(6)、再生气进气阀门(10)、氮气进口阀门(11)和再生气出气阀门(15)均为气动阀门。

3.根据权利要求1所述的一种气体自动纯化装置,其特征在于:所述纯气出气阀门(7)与氮气进气阀门(12)均为截止阀门。

4.根据权利要求1所述的一种气体自动纯化装置,其特征在于:所述纯气输出管道(5)上设有取样口(16),所述取样口(16)上设有取样截止阀。

5.根据权利要求1所述的一种气体自动纯化装置,其特征在于:所述再生气输入管道(9)与纯气输出管道(5)之间管道连接,所述再生气输入管道(9)与纯气输出管道(5)的连接管道上设有气动阀门。

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