[实用新型]一种嵌套式坩埚

权利要求书

1.一种嵌套式坩埚，包括外坩埚(1)，其特征在于：所述外坩埚(1)的外侧开设有卡槽(2)，所述外坩埚(1)的内部固定安装有内坩埚(3)，所述内坩埚(3)的内部固定安装有吸附板(4)，所述内坩埚(3)的内部套接安装有嵌套(5)，所述嵌套(5)的内部固定安装有磁吸板(6)，所述内坩埚(3)的上端面开设有导流口(7)。

2.根据权利要求1所述的一种嵌套式坩埚，其特征在于：所述外坩埚(1)具体采用氮化铝陶瓷，所述外坩埚(1)的底部为平面。

3.根据权利要求1所述的一种嵌套式坩埚，其特征在于：所述卡槽(2)为环形，所述卡槽(2)位于外坩埚(1)开口处的外侧。

4.根据权利要求1所述的一种嵌套式坩埚，其特征在于：所述内坩埚(3)具体采用氮化硼陶瓷，所述内坩埚(3)的外侧与外坩埚(1)的内侧紧密贴合。

5.根据权利要求1所述的一种嵌套式坩埚，其特征在于：所述嵌套(5)为陶瓷材质，所述嵌套(5)的外侧与内坩埚(3)的内侧紧密贴合。

6.根据权利要求1所述的一种嵌套式坩埚，其特征在于：所述吸附板(4)位于内坩埚(3)的中心位置，所述吸附板(4)位于磁吸板(6)的正下方。