[实用新型]一种电磁式MEMS扭转微镜

说明书

本实用新型涉及一种电磁式MEMS扭转微镜，包括微镜反射镜面、弹性梁、驱动线圈、框架和基座，其中：所述微镜反射镜面与所述框架通过所述弹性梁连接；所述弹性梁与所述微镜反射镜面连接，用以固定连接所述微镜反射镜面与框架；所述驱动线圈设置在所述基座上，用以对所述微镜反射镜面提供驱动力；所述框架用以固定所述微镜反射镜面；所述基座设置在所述微镜反射镜面所在的平面上。

技术领域

本实用新型涉及微镜技术领域，尤其涉及一种电磁式MEMS扭转微镜。

背景技术

微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System，简称：MEMS)，别名微机械、微系统、微电子机械系统等，其系统体积一般是于微纳米量级，能够完成传统机电系统无法完成的工作。

MEMS微机电系统是一个可以微型至纳米量级的一个智能系统，随着其研究越来越深入、应用越来越广泛、更是往集成电路芯片制造工艺方向去发展，MEMS器件拥有灵敏度高、功耗低、集成易、体积小、应用范围广、稳定性高等许多优点，朝着更加智能、更加多功能化的方向发展，而且发展势头迅猛。其应用原理大致分为两种，一种是控制MEMS微镜的镜面扭转改变光的路径，例如光通讯，方向，该方向研究如何通过形变、电压驱动来控制微镜偏转从而控制光路的方向，应用到光通信里的开关、滤波等。另一个是利用光的反射来实现控制，多用于数字微镜阵列和投影仪器等。在智能控制越来越多今天，MEMS微镜正逐步踏入市场。MEMS微镜广泛应用于微光学领域中的关断、图像、显示、通讯等领域，备受科研人员的关注和研究。但现有技术中，当今电磁式MEMS扭转微镜的微驱动器因为有偏转角度大、驱动电压低等优点，所以受到各个领域的广泛应用，并且用途也更加的多样化，比如光开关就是一种基于电磁式MEMS扭转微镜原理的一种新型光路转换器件，它的工作原理是通过改变微镜偏转角进而来改变输入光和输出光的传播方向，最后实现关开功能。现有技术中大都采用压电式MEMS扭转微镜的，对电磁式MEMS扭转微镜的应用相对较少。

综上：现有技术中还缺少对电磁式MEMS扭转微镜芯片的封装，使用微镜反射镜面的材质易受到成本的影响，导致加工及成本的增加。

实用新型内容

为此，本实用新型提供一种电磁式MEMS扭转微镜用以克服现有技术中使用微镜反射镜面的材质易受到成本的影响，导致加工及成本的增加的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供一种电磁式MEMS扭转微镜，包括微镜反射镜面、弹性梁、驱动线圈、框架和基座，其中：

所述微镜反射镜面与所述框架通过所述弹性梁连接；

所述弹性梁与所述微镜反射镜面连接，用以固定连接所述微镜反射镜面与框架；

所述驱动线圈设置在所述基座上，用以对所述微镜反射镜面提供驱动力；

所述框架用以固定所述微镜反射镜面；

所述基座设置在所述微镜反射镜面所在的平面上。

进一步地，所述驱动线圈为平面驱动线圈。

进一步地，所述弹性梁包括第一弹性梁和第二弹性梁，所述第一弹性梁的一端设置在所述微镜反射镜面的一端，所述第一弹性梁的另一端设置在所述框架的一端，所述第二弹性梁的一端设置在所述第一弹性梁对立的所述微镜反射镜面的一端，所述第二弹性梁的另一端设置在所述第一弹性梁对立框架的一端，所述第一弹性梁、第二弹性梁处于同一位面。

进一步地，所述基座设置在所述框架的下端，与所述框架平行设置。

进一步地，所述微镜反射镜面的镜体尺寸为4mm×4mm×250μm，包括磁性微粒MQFP-12-5掺杂到PDMS基质。

进一步地，所述微镜反射镜面的表面蒸镀100nm的金箔作为反光层。

进一步地，所述弹性梁为PDMS基质。