[实用新型]一种用于晶片的开沟槽装置

权利要求书

1.一种用于晶片的开沟槽装置，其特征在于，包括开沟槽体、冷却槽体、举升机构和转动架，所述冷却槽体设置在所述开沟槽体的侧部，所述举升机构安装在所述开沟槽体的顶端，所述转动架转动安装在所述举升机构的端部；

所述开沟槽体的侧壁上设置有溢流口，所述溢流口高于所述冷却槽体，所述溢流口与溢流管连接，所述溢流管的另一端向下贯穿所述冷却槽体的顶壁与所述冷却槽体的内腔连通，所述冷却槽体的侧部设置有抽液泵，所述冷却槽体侧壁的底部设置有抽液口，所述抽液口与所述抽液泵的进液口之间通过抽液管连接，所述抽液泵的出液口与回流管连接，所述回流管的另一端从所述开沟槽体的顶部向下伸入到所述开沟槽体的内腔中，所述冷却槽体的内部设置有第一制冷盘管；

所述举升机构包括竖板、转动轴、第一电机和举升臂，所述竖板相对固定安装在所述开沟槽体顶部的前后两端，所述转动轴转动安装在两个所述竖板之间，所述第一电机固定安装在一个所述竖板的外壁上，并且所述第一电机的转轴端部与所述转动轴的一端固定连接，所述举升臂垂直固定安装在所述转动轴的前后两端，所述转动轴一端的中部开设有第一空腔，一个所述举升臂的中部开设有第二空腔，所述第二空腔与所述第一空腔连通，所述第一空腔内固定安装有第二电机，所述第二电机的转轴端部固定套装有主动齿轮；

所述转动架包括两个相对间隔设置的侧板、连接在两个所述侧板底部之间的底板以及连接在两个所述侧板顶部之间的固定杆，两个所述侧板外侧壁的中部还分别设置有短轴，两个所述短轴分别与两个所述举升臂远离所述转动轴的一端转动连接，与设置有所述第二空腔的所述举升臂连接的所述短轴上固定套装有从动齿轮，所述从动齿轮位于所述第二空腔内，所述第二空腔内还设置有传动链条，所述传动链条的两端分别与所述主动齿轮和所述从动齿轮连接，所述底板顶部的左右两端分别设置有挡板。

2.如权利要求1所述的一种用于晶片的开沟槽装置，其特征在于，两个所述侧板侧壁的顶部分别相对开设有通孔，所述固定杆设置在相对的所述通孔之间，所述固定杆的两端分别开设有螺孔，两个所述侧板的外侧分别设置有锁紧螺栓，所述锁紧螺栓的端部穿过所述通孔螺接在所述螺孔内。

3.如权利要求1所述的一种用于晶片的开沟槽装置，其特征在于，所述开沟槽体内设置有隔板，所述隔板将所述开沟槽体的内腔分隔成开沟腔和清洗腔，两个所述竖板相对位于所述隔板的正上方，所述溢流口设置在所述开沟腔的侧壁上，所述回流管的底部位于所述开沟腔内，所述清洗腔的侧壁的底部设置有出水口，所述出水口上设置有水阀。

4.如权利要求3所述的一种用于晶片的开沟槽装置，其特征在于，所述开沟腔的底部设置有第二制冷盘管。

5.如权利要求1所述的一种用于晶片的开沟槽装置，其特征在于，所述固定杆的个数不少于两个。