[实用新型]掩模板

权利要求书

1.一种掩模板，其特征在于，其包括透光基板(1)、吸光膜(2)及掩模保护膜(3)；

所述透光基板(1)的下侧面中间区域为图形区(22)，外围区域为接触区域(21)；

图形区(22)及接触区域(21)分别覆盖有相应形状的吸光膜(2)；

图形区(22)同接触区域(21)之间的吸光膜(2)断开并构成一防静电环(6)；

所述掩模保护膜(3)为透明薄膜，蒙贴在一个掩模板保护膜框(4)的下侧；

所述掩模板保护膜框(4)不透光；

所述掩模板保护膜框(4)上端的形状同所述防静电环(6)一致；

所述掩模板保护膜框(4)上端的壁厚大于或等于防静电环(6)的线宽度；

所述掩模板保护膜框(4)上端对应于所述防静电环(6)粘贴在透光基板(1)下侧面，遮挡所述防静电环(6)。

2.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，

所述透光基板(1)为石英玻璃板。

3.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，

所述吸光膜(2)为铬膜或者硅化钼膜。

4.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，

所述掩模板保护膜框(4)为铝合金框架。

5.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，

所述掩模保护膜(3)的透光率大于90％。

6.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，

所述掩模板保护膜框(4)上端的壁厚为防静电环(6)的线宽度的1到1.2倍。