[实用新型]一种晶圆弯曲度检测装置

权利要求书

1.一种晶圆弯曲度检测装置，包括底座（1）、承载平台（5）和下侧伸缩杆（17），其特征在于：所述底座（1）上方固定安装有承载平台（5），承载平台（5）上方设置有检测箱（4），且承载平台（5）右端连接有操作平台（2），所述检测箱（4）前侧面上开设有开口（7），检测箱（4）右侧面上固定有显示屏（3），检测箱（4）顶面内侧安装有竖向滑动机构（14）和横向滑动机构（15），所述开口（7）与滑盖（8）相互适配，滑盖（8）中心处设置有把手（9），所述竖向滑动机构（14）和横向滑动机构（15）分别与竖向扫描架（13）和横向扫描架（11）连接在一起，且横向扫描架（11）和竖向扫描架（13）底端设置有测量头（12），所述承载平台（5）上表面左上角安装有第一转动机构（16），承载平台（5）上表面中心处固定有测量平台（6），且测量平台（6）左上角安装有定位件（10），所述下侧伸缩杆（17）上下两端分别连接第一转动机构（16）和第二转动机构（18），第二转动机构（18）正上方设置有上侧伸缩杆（21），且第二转动机构（18）和上侧伸缩杆（21）侧面分别连接下侧转动轴（23）和上侧转动轴（20），所述上侧伸缩杆（21）固定在第三转动机构（22）上，上侧转动轴（20）和下侧转动轴（23）上均安装有真空吸盘（19）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆弯曲度检测装置，其特征在于：所述检测箱（4）呈无底方盒状，检测箱（4）与承载平台（5）共同构成完整的方盒形，检测箱（4）前侧板底端中部开设有矩形状的开口（7），且开口（7）上方检测箱（4）上安装有滑盖（8），检测箱（4）顶板内侧面左上角处固定有第三转动机构（22）。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆弯曲度检测装置，其特征在于：所述测量平台（6）呈正方形板状，测量平台（6）前侧面与开口（7）相对，测量平台（6）左上角外侧固定有定位件（10），定位件（10）呈倒L形折板状，且定位件（10）的高度略高于测量平台（6）的高度。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆弯曲度检测装置，其特征在于：所述横向扫描架（11）前端滑动安装在横向滑动机构（15）内，竖向扫描架（13）右端滑动安装在竖向滑动机构（14）内，横向扫描架（11）和竖向扫描架（13）底部等间距安装有测量头（12）。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆弯曲度检测装置，其特征在于：所述竖向滑动机构（14）与横向滑动机构（15）共同构成反L形，竖向滑动机构（14）和横向滑动机构（15）连接处固定在检测箱（4）顶面右下角处，竖向滑动机构（14）和横向滑动机构（15）的长度大于测量平台（6）的边长。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆弯曲度检测装置，其特征在于：所述第一转动机构（16）顶部活动连接有下侧伸缩杆（17），下侧伸缩杆（17）顶端连接有第二转动机构（18），第二转动机构（18）右端固定连接有下侧转动轴（23），下侧伸缩杆（17）与下侧转动轴（23）相垂直。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆弯曲度检测装置，其特征在于：所述下侧转动轴（23）侧面上等间距固定有真空吸盘（19）。