[实用新型]一种真空镀钛装置

权利要求书

1.一种真空镀钛装置，包括镀钛主机(1)，其特征在于，所述镀钛主机(1)内设有镀钛腔(11)，所述镀钛腔(11)内设有旋转安装架(2)，所述旋转安装架(2)上设有驱动其在镀钛腔(11)内升降的升降结构(3)，所述升降结构(3)上连接有液压管(31)，所述液压管(31)贯穿所述镀钛腔(11)与外部液压站(4)连接；所述镀钛主机(1)外部设有与所述镀钛腔(11)连通的抽真空装置(5)，所述抽真空装置(5)包括根据镀钛腔内的真空度依次启动的第一真空泵(51)、第二真空泵(52)、第三真空泵(53)以及抽真空管道(54)，所述第一真空泵(51)和第二真空泵(52)设置在镀钛主机(1)外部，所述第三真空泵(53)设置在所述镀钛主机(1)的外壁周侧上，所述第一真空泵(51)、第二真空泵(52)、第三真空泵(53)分别通过所述抽真空管道(54)与所述镀钛腔(11)连通。

2.根据权利要求1所述的真空镀钛装置，其特征在于，所述升降结构(3)包括液压电机(32)、丝杆(33)以及滑块(34)，所述丝杆(33)分别设置在所述旋转安装架(2)的两侧部，且所述丝杆(33)的顶部设有与所述镀钛腔(11)内壁固定连接的第一安装板(35)，所述丝杆(33)顶部插接固定在所述第一安装板(35)上，底部与所述液压电机(32)固定连接；所述滑块(34)与所述丝杆(33)螺纹连接套接在所述丝杆(33)上，且所述滑块(34)与所述旋转安装架(2)固定连接；所述液压电机(32)上连接有所述液压管(31)，所述液压电机(32)的主轴通过联轴器或传动齿轮与所述丝杆(33)连接。

3.根据权利要求1所述的真空镀钛装置，其特征在于，所述升降结构(3)包括液压杆(36)和伸缩杆(37)，所述液压杆(36)与所述液压管(31)连接，且所述液压杆(36)的端部抵触在所述旋转安装架(2)的底部；所述伸缩杆(37)分别设置在所述旋转安装架(2)的两侧部，所述伸缩杆(37)的两端设有与所述镀钛腔(11)的内壁固定连接的第二安装板(38)，所述伸缩杆(37)两端插接固定在所述第二安装板(38)上。

4.根据权利要求1所述的真空镀钛装置，其特征在于，所述镀钛主机(1)的外壁上设有贯穿所述镀钛腔(11)的安装孔(12)，所述安装孔(12)的两端均设有与所述安装孔(12)旋拧连接的液压管接头(13)，所述液压管(31)通过所述分别与位于安装孔(12)两端的液压管接头(13)连接，实现镀钛腔(11)内部的升降结构与镀钛主机(1)外部的液压站连接。

5.根据权利要求4所述的真空镀钛装置，其特征在于，所述安装孔(12)的内壁和液压管接头(13)之间设有密封件。

6.根据权利要求1所述的真空镀钛装置，其特征在于，所述液压管(31)为耐高温塑胶管。

7.根据权利要求1所述的真空镀钛装置，其特征在于，所述第一真空泵(51)为机械泵，所述第二真空泵(52)为螺丝泵，所述第三真空泵(53)为分子泵。

8.根据权利要求1所述的真空镀钛装置，其特征在于，所述抽真空管道(54)包括第一管道(55)和第二管道(56)，所述第一管道(55)分别与所述第一真空泵(51)以及第二真空泵(52)连接，且所述第一管道(55)连通所述镀钛腔(11)；所述第二管道(56)一端与所述第三真空泵(53)连接，另一端与所述镀钛腔(11)相连通。

9.根据权利要求8所述的真空镀钛装置，其特征在于，所述第一管道(55)上设有第一控制阀(57)和第二控制阀(58)，所述第二管道(56)上设有第三控制阀(59)。

10.根据权利要求1所述的真空镀钛装置，其特征在于，所述镀钛主机(1)上设有控制终端(6)，所述控制终端(6)分别与所述升降结构(3)和抽真空装置(5)电性连接。