[实用新型]高精度气体过滤阀

权利要求书

1.高精度气体过滤阀,包括具有腔体的阀体(1)，所述的阀体(1)上设有进气端(1a)以及出气端(1b)，所述的阀体(1)内设有阀座(2)，所述的阀座(2)将所述的腔体分隔成进气腔(1c)以及出气腔(1d)，所述的阀座(2)的中部设有流通通道(3)，所述的流通通道(3)内穿设有阀芯(4)，所述的阀芯(4)能够轴向移动且所述的阀芯(4)能够封堵所述的流通通道(3)，其特征在于，所述的进气端(1a)内固连有过滤器(12)，所述的过滤器(12)包括支架(12a)，所述的支架(12a)的内侧设有网状过滤筒(12b)以及纸质过滤筒(12c)，所述的网状过滤筒(12b)位于所述的纸质过滤筒(12c)的内侧且两者同轴设置。

2.根据权利要求1所述的高精度气体过滤阀，其特征在于，本控制阀还包括控制单元、压力传感器以及伺服电机(5)，所述的伺服电机(5)以及压力传感器均与控制单元相连，所述的压力传感器能够感应所述的出气腔(1d)内的压力，所述的伺服电机(5)能够与所述的阀芯(4)相连且所述的伺服电机(5)能够带动所述的阀芯(4)轴向移动。

3.根据权利要求2所述的高精度气体过滤阀，其特征在于，所述的阀芯(4)呈杆状，所述的阀芯(4)的下端与所述的阀座(2)螺纹相固连，所述的伺服电机(5)位于所述的阀芯(4)的下侧且所述的伺服电机(5)的转轴与一传动套(6)的一端相固连，阀芯(4)的下端插入到传动套(6)的上端并与所述的传动套(6)周向固连。

4.根据权利要求1或2或3所述的高精度气体过滤阀，其特征在于，所述的阀芯(4)的中部设有锥柱状的密封部(7)，所述的流通通道(3)的内侧壁上定位有密封垫(8)，所述的密封部(7)能够抵压在密封垫(8)上。

5.根据权利要求1或2或3所述的高精度气体过滤阀，其特征在于，所述的阀芯(4)的上端设有弹簧(9)，所述的弹簧(9)的两端分别抵靠在所述的阀体(1)与所述的阀芯(4)上。

6.根据权利要求5所述的高精度气体过滤阀，其特征在于，所述的阀体(1)的内侧壁上设有定位凸体一(10)，所述的阀芯(4)的上端外侧壁环设有定位凸体二(11)，所述的弹簧(9)的两端抵靠在定位凸体一(10)以及定位凸体二(11)上。

7.根据权利要求1或2或3所述的高精度气体过滤阀，其特征在于，所述的阀座(2)穿设在阀体(1)上并与所述的阀体(1)螺纹相固连。

8.根据权利要求1或2或3所述的高精度气体过滤阀，其特征在于，所述的阀座(2)与所述的阀体(1)之间设有密封圈。