[实用新型]一种合金薄膜电沉积设备有效
| 申请号： | 202021869268.6 | 申请日： | 2020-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN214694405U | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 奚亚男;胡淑锦 | 申请（专利权）人： | 惠州市钰芯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C25D3/62 | 分类号： | C25D3/62;C25D5/08;C25D7/00;C25D21/10;C25D21/14;B23K35/30;B23K35/40 |
| 代理公司： | 佛山帮专知识产权代理事务所(普通合伙) 44387 | 代理人： | 颜春艳 |
| 地址： | 516083 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 合金 薄膜 沉积 设备 | ||
1.一种合金薄膜电沉积设备，其特征在于，包括电镀槽和补加槽，所述电镀槽包括电镀槽体(1)、电镀槽盖(3)、喷射装置(4)、测温系统(5)、电镀加热棒(6)、阳极挂具(7)、阴极片(8)、旋转装置(9)、密封系统(10)和进料口(11)；所述补加槽包括补加槽体(1)、补加槽盖(2)、料液出口(12)、温控系统(13)和补加加热棒(14)；其中所述旋转装置(9)设置在所述电镀槽底部；所述电镀槽和所述补加槽是两个独立的空间装置，镀液通过外加装置从所述进料口(11)流入，从所述料液出口(12)流出。
2.根据权利要求1所述的一种合金薄膜电沉积设备，其特征在于，所述进料口(11)和所述料液出口(12)连接外加电机及过滤装置。
3.根据权利要求1所述的一种合金薄膜电沉积设备，其特征在于，所述电沉积设备还包括电源接口(15)。
4.根据权利要求1所述的一种合金薄膜电沉积设备，其特征在于，所述喷射装置(4)包括喷嘴，所述喷嘴为圆柱形喷嘴。
5.根据权利要求1所述的一种合金薄膜电沉积设备，其特征在于，所述旋转装置(9)与调速电机相连，可控制所述阴极片(8)的转速。
6.根据权利要求1所述的一种合金薄膜电沉积设备，其特征在于，所述电镀槽中，所述测温系统(5)与所述电镀加热棒(6)互连；所述补加槽中，所述温控系统(13)和所述补加加热棒(14)互连。
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