[实用新型]一种螺旋环电极硅阵列探测器

权利要求书

1.一种螺旋环电极硅阵列探测器，其特征在于，包括柱形基体，基体顶面上设有掺杂形成的螺旋环电极和中央电极共同构成的阴极，中央电极位于螺旋环电极正中，螺旋环电极环绕于中央电极之外，螺旋环电极的螺旋环数量为K，K为正整数，基体底面为掺杂形成的阳极；基体顶面电极上设有电极接触层，在没有电极接触层的地方覆盖有SiO₂，基体底面整面电极设有电极接触层。

2.根据权利要求1所述的螺旋环电极硅阵列探测器，其特征在于，所述螺旋环电极为圆形螺旋环形、方形螺旋环形或正多边形螺旋环形；柱形基体为圆柱形、方柱形或正多边柱形。

3.根据权利要求2所述的螺旋环电极硅阵列探测器，其特征在于，所述螺旋环电极为圆形螺旋环形，柱形基体为圆形柱。

4.根据权利要求2所述的螺旋环电极硅阵列探测器，其特征在于，所述螺旋环电极为方形螺旋环形，柱形基体为方形柱。

5.根据权利要求2所述的螺旋环电极硅阵列探测器，其特征在于，所述螺旋环电极为正n边形，n≥6，柱形基体为正m边柱形，m≥n。