[实用新型]一种用于真空装置的液冷电极棒

权利要求书

1.一种用于真空装置的液冷电极棒，包括真空装置以及设置于真空装置内的电极棒本体，其特征在于：还包括发热件固定部件和内芯管件，电极棒本体内部设有第一流液通道，内芯管件安装于第一流液通道内，内芯管件设有第二流液通道，第一流液通道与第二流液通道连通，冷却液依次流经第一流液通道和第二流液通道，电极棒本体接入电源电流，发热件固定部件安装于电极棒本体的端部。

2.根据权利要求1所述的一种用于真空装置的液冷电极棒，其特征在于：所述电极棒还包括导电连接部件，导电连接部件包括套设安装于电极棒本体外侧的第一连接部以及与第一连接部一体弯折设置的第二连接部，第二连接部设置有导电端子，导电端子用于接入电源电流。

3.根据权利要求2所述的一种用于真空装置的液冷电极棒，其特征在于：所述电极棒还包括均套设安装于电极棒本体外侧的第一夹持固定件和第二夹持固定件，第一连接部限位于第一夹持固定件和第二夹持固定件之间。

4.根据权利要求1所述的一种用于真空装置的液冷电极棒，其特征在于：所述发热件固定部件包括轴体以及与轴体一体设置的平板体，轴体包括分别设置于平板体两侧的上轴体和下轴体，上轴体螺纹连接有螺母件，螺母件与平板体之间设有卡装凹槽，电极棒本体设有轴体固定槽，下轴体安装于轴体固定槽内，平板体与电极棒本体的端面抵触。

5.根据权利要求1所述的一种用于真空装置的液冷电极棒，其特征在于：所述电极棒还包括绝缘套件，电极棒本体一体设有装配环体，绝缘套件套装于装配环体外侧。

6.根据权利要求5所述的一种用于真空装置的液冷电极棒，其特征在于：所述电极棒还包括均套设于电极棒本体外侧的第一安装绝缘件和第二安装绝缘件，第一安装绝缘件与装配环体之间设有一密封圈，第一安装绝缘件和第二安装绝缘件分别设置于真空装置的内侧和外侧，第一安装绝缘件与真空装置之间设有另一密封圈。

7.根据权利要求1所述的一种用于真空装置的液冷电极棒，其特征在于：所述电极棒还包括安装于电极棒本体并与第一流液通道连通的进液咀以及安装于内芯管件并与第二流液通道连通的出液咀，冷却液依次流经进液咀、第一流液通道、第二流液通道和出液咀。