[实用新型]一种带有发热丝拉紧件的真空热源结构

权利要求书

1.一种带有发热丝拉紧件的真空热源结构，包括真空罩，其特征在于：还包括发热丝拉紧件以及设置于真空罩内的热源组件，热源组件包括热丝网件，热丝网件包括热丝网架以及均布于热丝网架的多个发热丝，热丝网架设置于真空罩内部，发热丝拉紧件固定安装于热丝网架，发热丝拉紧件用于拉紧多个发热丝。

2.根据权利要求1所述的一种带有发热丝拉紧件的真空热源结构，其特征在于：所述热源组件还包括多个液冷电极棒，多个液冷电极棒均绝缘安装于真空罩底壁，热丝网架设置于真空罩内部并承载于多个液冷电极棒上，液冷电极棒与热丝网架电性连接，热丝网架与多个发热丝电性连接，液冷电极棒用于对发热丝供电，液冷电极棒为中空结构，冷却液导入液冷电极棒内部以实现冷却。

3.根据权利要求1所述的一种带有发热丝拉紧件的真空热源结构，其特征在于：所述真空罩包括真空罩本体、设置于真空罩本体的抽气密封法兰、设置于真空罩本体内部的温度检测器以及转动安装于真空罩本体的密封挡门，温度检测器用于检测真空罩内部温度，真空罩本体和密封挡门均设有夹层液冷空腔，夹层液冷空腔导入冷却液以对真空罩冷却，抽气密封法兰设置有挡尘板，抽气密封法兰用于与外界的抽真空系统密封连接。

4.根据权利要求1所述的一种带有发热丝拉紧件的真空热源结构，其特征在于：所述热丝网架包括正极架杆和负极架杆，正极架杆的两端分别与两个液冷电极棒固定连接，负极架杆的两端分别与两个液冷电极棒固定连接，发热丝的一端固定于正极架杆，发热丝的另一端固定于正极架杆。

5.根据权利要求4所述的一种带有发热丝拉紧件的真空热源结构，其特征在于：所述正极架杆套设有多个正极绕丝定位部件，负极架杆套设有多个负极绕丝定位部件，相邻的两个正极绕丝定位部件之间设有正极绕丝间隙，相邻的两个负极绕丝定位部件之间设有负极绕丝间隙，发热丝的一端固定并限位于正极绕丝间隙，发热丝的一端固定并限位于负极绕丝间隙。

6.根据权利要求1所述的一种带有发热丝拉紧件的真空热源结构，其特征在于：所述发热丝拉紧件包括拉紧件架以及多个弹性部件，拉紧件架固定安装于热丝网架，多个弹性部件呈线性排列，多个弹性部件的一端分别固定于拉紧件架，多个弹性部件的另一端分别与多个发热丝连接，弹性部件的拉力方向与热丝网架所在平面交叉设置。