[实用新型]减少玻璃基板检测缺陷的传送装置

说明书

本实用新型公开一种减少玻璃基板检测缺陷的传送装置，用于玻璃基板的干燥，包括传送单元，其还包括至少一对热风刀组件，所述热风刀组件包括用于输出热风的上风刀和用于输出热风的下风刀，所述上风刀的风刀口朝向待干燥的玻璃基板的上表面，所述下风刀的风刀口朝向待干燥的玻璃基板的下表面。传送单元的上下分别设置上风刀、下风刀。从上风刀和下风刀送出热风的吹干玻璃基板，不牺牲良率的情况下，大大降低在检测流程中AOI非真实缺陷(FALSE DEFECT)的检出，同时增加的热风刀组可以对玻璃基板再次吹干，确保玻璃基板表面无水渍残留。

技术领域

本实用新型涉及平板显示的技术领域，尤其涉及一种减少玻璃基板检测缺陷的传送装置。

背景技术

近十年以来，平板显示工业经历了几次跃迁，每一次跃迁都带来技术上的变革及工艺上的新的更加严苛的要求。新的工艺提升后，玻璃基板在经过显影单元、风干单元、传送单元后，会在AOI单元检测出大量的非真实缺陷(False Defect)。

经过反复实验发现，该非真实缺陷实则为水痕，即为干燥单元的风刀吹干后残留在玻璃基板上的水渍缺陷。目前的解决办法有两个：一个是玻璃基板经过AK单元后在传送单元静置约30秒左右再进入AOI单元；第二是AOI不检测。前者会影响到设备的产能，后者则会带来异常品的风险。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种不影响设备产能的同时，又不会带来异常品风险的减少玻璃基板检测缺陷的传送装置。

本实用新型公开一种减少玻璃基板检测缺陷的传送装置，用于玻璃基板的传送，包括传送单元，其还包括至少一对热风刀组件，所述热风刀组件包括用于输出热风的上风刀和用于输出热风的下风刀，所述上风刀的风刀口朝向待传送的玻璃基板的上表面，所述下风刀的风刀口朝向待传送的玻璃基板的下表面。

进一步的，还包括用于固定安装所述热风刀组件的固定座，所述固定座包括相互固定连接的安装板和固定板，所述固定板用于安装于减少玻璃基板检测缺陷的传送装置的主体，所述上风刀和下风刀均固定于所述安装板。

进一步的，安装板上开设有调节槽，所述上风刀和下风刀均固定于所述调节槽，所述上风刀和下风刀之间的间距沿调节槽可调。

进一步的，所述传送单元对应所述热风刀组件处设有压紧组件。

进一步的，所述压紧组件包括位于待传送玻璃基板上方的压轮组，和位于待传送玻璃基板下方的支撑轮组。

进一步的，还包括用于传送热风的送风组件，所述送风组件包括送风管路以及加热器，经由所述加热器加热后的热风的其中一路送至所述上风刀出风，另外一路送至所述下风刀出风。

进一步的，所述加热器与上风刀之间的管路设有上调节阀，所述加热器与下风刀之间的管路设有下调节阀。

进一步的，所述上调节阀与上风刀之间的管路设有上压力计，所述下调节阀与下风刀之间的管路设有下压力计。

进一步的，所述加热器的出风管路上还设有过滤器。

进一步的，所述加热器进风管路上还设有用于检测进风流量的流量计。

本实用新型的有益效果是：本实用新型所保护的减少玻璃基板检测缺陷的传送装置的传送单元的上下两侧分别设置上风刀、下风刀。从上风刀和下风刀送出热风的吹干玻璃基板，不牺牲良率的情况下，大大降低AOI非真实缺陷(FALSE DEFECT)的检出，同时增加的热风刀组可以对玻璃基板再次吹干，确保玻璃基板表面无水渍残留。

附图说明

图1是现有技术图示。

图2是是本实用新型所述的减少玻璃基板检测缺陷的传送装置的结构示意图。

图3是本实用新型所述的减少玻璃基板检测缺陷的传送装置的热风刀组件的立体图。