[实用新型]一种充气吹净控制设备

说明书

本实用新型提供了一种充气吹净控制设备，其可以包括：用于将充气盘面中环境传感器采集的第一模拟信号转换为第二模拟信号，并将第二模拟信号转换为数字信号的模数转换模块、将数字信号转换为第三模拟信号的数模转换模块、以及用于控制第三模拟信号的微控制模块。本实用新型不用单独接不同的电压接口或是外接电压转换器，增加了数模转换模块，此外还增加了模拟量的采集和输入，使得模拟数据的反馈会更加准确。

技术领域

本实用新型涉及信号控制领域，具体涉及一种充气吹净控制设备。

背景技术

随着半导体行业制作工艺的提升，需要更严格的控制用于传送物体的载具内部的湿度和含氧量，以最大可能性的降低芯片与氧气等物质的接触以免产生氧化反应。其中，在芯片制造时的传送过程中，需要对载具内部的充气盘面进行净化，以避免芯片被氧化，因此，需要提高检测载具内部环境中的湿度和含氧量的精确度，以实现芯片更高工艺要求。

实用新型内容

为了克服上述现有技术的不足，本实用新型提供一种充气吹净控制设备。

一种充气吹净控制设备，其包括：用于将充气盘面中环境传感器采集的第一模拟信号转换为第二模拟信号，并将第二模拟信号转换为数字信号的模数转换模块、将数字信号转换为第三模拟信号的数模转换模块、以及用于控制第三模拟信号的微控制模块；其中，数模转换模块包括：OPA140AIDR芯片；微控制模块包括：STM32F405RGT6芯片。

模数转换模块包括：至少四个并联的OP07CDR芯片。

微控制模块还包括：与STM32F405RGT6芯片输出端相连的电流放大单元；电流放大单元包括ULN2003A芯片。

本实用新型还可以包括：电源转换模块；电源转换模块包括：第一电源转换单元，用于将24V电源转换为12V电源；第二电源转换单元，用于将12V电源转换为5V电源；第三电源转换模块，用于将5V电源转换为3.3V电源；第四电源转换单元，用于将12V电源转换为-12V电源。

第二电源转换单元还用于向功率放大单元供电；第三电源转换模块还用于向STM32F405RGT6芯片供电；第四电源转换单元还用于向模数转换模块供电。

本实用新型还可以包括：用于接收按压传感器信号的三输入与门电路模块；

三输入与门电路模块包括：SN74LVC2G08DCUR芯片。

微控制模块还可以包括：稳压单元；

稳压单元用于稳定与STM32F405RGT6芯片相连的光耦开关的MOS管的电压。

与最接近的现有技术相比，本实用新型提供的技术方案具有以下有益效果：

本实用新型不用单独接不同的电压接口或是外接电压转换器，增加了数模转换模块，此外还增加了模拟量的采集和输入，使得模拟数据的反馈会更加准确。

附图说明

图1为本实用新型的模数转换模块示意图；

图2为本实用新型的数模转换模块示意图；

图3为本实用新型的STM32F405RGT6芯片示意图；

图4为本实用新型的三输入与门电路模块示意图；

图5为本实用新型的微控制模块中稳压单元的示意图。

具体实施方式

下面结合说明书附图对本实用新型的技术方案做进一步详细说明。

本实用新型可以包括：用于将充气盘面中环境传感器采集的第一模拟信号转换为第二模拟信号，并将第二模拟信号转换为数字信号的模数转换模块、将数字信号转换为第三模拟信号的数模转换模块、以及用于控制第三模拟信号的微控制模块。