[实用新型]一种旋转靶材脱脂装置

说明书

本实用新型公开了一种旋转靶材脱脂装置，包括炉体，所述炉体的内部设有内胆，所述炉体的顶部设有排风扇和喷淋装置，所述炉体的底部设有集水罩，所述炉体和集水罩之间设有若干个进气孔，所述集水罩的下方连通设有管道一，所述管道一和另一端设有储水箱，所述喷淋装置通过管道二和储水箱连通，所述管道二上设有水泵，所述炉体上设有通孔，所述炉体的外侧铰接设有与通孔相配合的门体，所述门体上设有转轴，所述转轴位于炉体内的一端设有杆体，另一端设有套筒一，所述通孔上设有与杆体两端相配合的缺口，所述炉体的外侧设有与门体相配合套筒二和套筒三，所述套筒一、套筒二和套筒三内插接设有加强杆。本实用新型的优点在于：安全性高，降温速度快。

技术领域

本实用新型涉及靶材脱脂技术领域，具体是指一种旋转靶材脱脂装置。

背景技术

旋转靶材是磁控的靶材，靶材做成圆筒型的，里面装有静止不动的磁体，以慢速转动，靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源，在制备功能薄膜时需对其进行脱脂操作，现有的脱脂装置，但在脱脂过程中温度过高易爆，安全性不佳，同时降温速度过慢，无法满足以氢气、氮气组成的保护气氛下的低温退火要求，实用性不佳。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服以上困难，提供一种安全性高，降温速度快的一种旋转靶材脱脂装置。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的技术方案为：一种旋转靶材脱脂装置，包括炉体，所述炉体的内部设有内胆，所述炉体的顶部设有排风扇和喷淋装置，所述排风扇位于喷淋装置的上方，所述炉体的底部设有集水罩，所述炉体和集水罩之间设有若干个进气孔，所述集水罩的下方连通设有管道一，所述管道一和另一端设有储水箱，所述喷淋装置通过管道二和储水箱连通，所述管道二上设有水泵，所述炉体上设有通孔，所述炉体的外侧铰接设有与通孔相配合的门体，所述门体上设有转轴，所述转轴位于炉体内的一端设有杆体，另一端设有套筒一，所述通孔上设有与杆体两端相配合的缺口，所述炉体的外侧设有与门体相配合套筒二和套筒三，所述套筒一、套筒二和套筒三内插接设有加强杆。

作为改进，所述喷淋装置包括喷淋管和设于喷淋管上的喷头，所述喷头的数量为若干个。

作为改进，所述集水罩为倒锥型结构。

作为改进，所述套筒一的两端设有旋转把手。

作为改进，所述套筒二和套筒三互相远离。

作为改进，所述加强杆的一端设有把手。

作为改进，所述缺口和套筒二、套筒三相对于通孔的位置相同。

本实用新型与现有技术相比的优点在于：所述喷淋装置可以对内胆进行喷淋降温，所述排风扇可以将含有热量的水蒸气从炉体的顶部排出，达到快速降温的目的，所述集水罩可以对降温后的水进行收集，所述杆体和加强杆相配合，可以使门体的强度更高，防止炉体因温度过高而发生爆炸，所述旋转把手和把手相配合，便于工作人员开启门体。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型内部的结构示意图。

如图所示：1、炉体，2、内胆，3、排风扇，4、喷淋装置，5、集水罩，6、进气孔，7、管道一，8、储水箱，9、管道二，10、水泵，11、通孔，12、门体，13、转轴，14、杆体，15、套筒一，16、缺口，17、套筒二，18、套筒三，19、加强杆，20、喷淋管，21、喷头，22、旋转把手，23、把手。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。