[实用新型]一种靶材高使用率的平面阴极

权利要求书

1.一种靶材高使用率的平面阴极，其特征在于，包括屏蔽板、磁钢组件和靶材固定件，所述的屏蔽板的下端面设置屏蔽槽，所述磁钢组件设置在屏蔽槽内，所述磁钢组件包括安装座、靶壳和磁体，所述安装座固定在屏蔽槽的上壁，靶壳位于安装座的下方，安装座的下端设置有两条轨道板，轨道板位于靶壳两侧，轨道板朝向靶壳的侧壁上设置有轨道槽，轨道槽的延伸方向与轨道板一致，轨道槽中设置有齿条，靶壳的上端两侧分别固定有若干电机，所述电机的机轴上设置有与齿条啮合的齿轮，靶壳通过电机支撑安装在安装座下方，靶壳下方设置有磁体，所述磁体的延伸方向与轨道槽垂直，靶材固定件安装在屏蔽槽槽口处，靶材固定件包括背板和压板，所述背板完全遮挡屏蔽槽，所述压板位于背板下方，所述压板和背板贴合后形成靶材固定槽。

2.如权利要求1所述的一种靶材高使用率的平面阴极，其特征在于，所述安装座和屏蔽板之间设置有绝缘板。

3.如权利要求1所述的一种靶材高使用率的平面阴极，其特征在于，所述靶壳下端设置有磁体槽，磁体槽的上顶壁设置有磁座，所述磁体吸附在磁座的下方。

4.如权利要求1所述的一种靶材高使用率的平面阴极，其特征在于，所述背板与屏蔽板之间设置有水槽板，所述水槽板中设置有冷却水孔。

5.如权利要求1所述的一种靶材高使用率的平面阴极，其特征在于，所述背板与屏蔽板之间设置有水槽板，所述水槽板对向背板的端面上设置有冷却水槽，所述水槽板与背板贴合后，使得冷却水槽形成孔状。

6.如权利要求5所述的一种靶材高使用率的平面阴极，其特征在于，所述水槽板与背板之间设置有密封条，所述的密封条围绕冷却水槽一圈。

7.如权利要求4~6任一所述的一种靶材高使用率的平面阴极，其特征在于，所述水槽板、背板和压板都通过螺钉固定在屏蔽板上，螺钉依次穿过压板、背板、水槽板与屏蔽板连接固定。

8.如权利要求1所述的一种靶材高使用率的平面阴极，其特征在于，所述压板包括两条，两条压板分别位于背板下方的两侧，两个压板和背板之间形成一个阶梯状的靶材固定槽。