[实用新型]一种晶硅制备碳碳坩埚有效
申请号: | 202021882152.6 | 申请日: | 2020-09-02 |
公开(公告)号: | CN213037879U | 公开(公告)日: | 2021-04-23 |
发明(设计)人: | 刘赫;李春波;董晨名;孙磊;秦晔 | 申请(专利权)人: | 天津金沃能源科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京君泊知识产权代理有限公司 11496 | 代理人: | 王程远 |
地址: | 300382 天津市西青区西青学府*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 制备 坩埚 | ||
1.一种晶硅制备碳碳坩埚,包括坩埚圆筒壁(4)、坩埚底座(5)和坩埚盖(8),其特征在于:所述坩埚圆筒壁(4)上端前侧开设有出气孔(1),且坩埚圆筒壁(4)左侧固定安装有上把手(3),并且坩埚圆筒壁(4)下端面开设有三角凹槽(10),并且三角凹槽(10)下端面连接有三角凸块(2),所述坩埚底座(5)上端面固定有三角凸块(2),且坩埚底座(5)右侧固定安装有下把手(6),所述坩埚盖(8)上固定连接有盖把手(9),且坩埚盖(8)下端面前侧开设有盖口(7),坩埚盖(8)下端面预留有坩埚圆筒壁(4)。
2.根据权利要求1所述的一种晶硅制备碳碳坩埚,其特征在于:所述坩埚圆筒壁(4)外壁对称安装有2个上把手(3)。
3.根据权利要求1所述的一种晶硅制备碳碳坩埚,其特征在于:所述坩埚圆筒壁(4)采用碳/碳复合材料制成,且坩埚底座(5)采用石墨制成。
4.根据权利要求1所述的一种晶硅制备碳碳坩埚,其特征在于:所述坩埚圆筒壁(4)厚度与坩埚底座(5)厚度相同,且坩埚圆筒壁(4)直径与坩埚底座(5)直径相同,并且三角凹槽(10)与三角凸块(2)对齐。
5.根据权利要求1所述的一种晶硅制备碳碳坩埚,其特征在于:所述坩埚底座(5)外壁对称安装有2个下把手(6)。
6.根据权利要求1所述的一种晶硅制备碳碳坩埚,其特征在于:所述坩埚盖(8)下端外壁直径小于坩埚圆筒壁(4)内壁直径,且出气孔(1)与坩埚圆筒壁(4)呈45度角。
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