[实用新型]一种蓝宝石晶体生长设备故障检测平台有效
申请号: | 202021882222.8 | 申请日: | 2020-09-02 |
公开(公告)号: | CN213538163U | 公开(公告)日: | 2021-06-25 |
发明(设计)人: | 薛武鹏;杨辉;程涛;李奎 | 申请(专利权)人: | 陕西欣宇材料科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B11/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 晶体生长 设备 故障 检测 平台 | ||
1.一种蓝宝石晶体生长设备故障检测平台,包括主体机构(1),其特征在于,所述主体机构(1)包括底座(11),所述底座(11)的上表面固定连接有炉体(12),所述炉体(12)的内部表面固定连接有钨隔热屏(13),所述主体机构(1)的下端一侧设置有密封机构(2),所述密封机构(2)的一端设置有观测机构(3)。
2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶体生长设备故障检测平台,其特征在于:所述密封机构(2)包括电机(21),所述电机(21)固定连接在底座(11)的底端一侧,所述电机(21)的输出端固定连接有第一齿轮(22),所述炉体(12)的底端一侧开设有通孔(23),所述通孔(23)的内部固定插接有耐高温管(24),所述耐高温管(24)的表面固定套接有耐高温阀(25),所述耐高温阀(25)的控制端固定连接有第二齿轮(26),所述钨隔热屏(13)的底端一侧开设有气孔(27)。
3.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶体生长设备故障检测平台,其特征在于:所述观测机构(3)包括观测管(31),所述观测管(31)固定连通在耐高温管(24)的一端,所述观测管(31)的内部固定连接有挡块(32),所述挡块(32)的中心处开设有滑槽(33),所述滑槽(33)的内部滑动连接有滑杆(34),所述观测管(31)的内部滑动连接有活塞板(35),所述活塞板(35)的表面固定连接有耐高温密封圈(36),所述活塞板(35)靠近滑杆(34)的一侧固定连接有弹簧(37),所述观测管(31)一端内壁固定连接有限位块(38),所述活塞板(35)远离滑杆(34)的一侧固定连接有标杆(39)。
4.根据权利要求2所述的一种蓝宝石晶体生长设备故障检测平台,其特征在于:所述第一齿轮(22)与第二齿轮(26)啮合。
5.根据权利要求3所述的一种蓝宝石晶体生长设备故障检测平台,其特征在于:所述弹簧(37)远离活塞板(35)的一端与挡块(32)接触设置。
6.根据权利要求2所述的一种蓝宝石晶体生长设备故障检测平台,其特征在于:所述气孔(27)与耐高温管(24)相连通。
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