[实用新型]一种用于消除晶锭内应力的装置有效
| 申请号： | 202021885273.6 | 申请日： | 2020-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN213835629U | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 李帅;赵建国;李乃庆 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/00 | 分类号： | C30B33/00;C30B29/36;C30B30/06 |
| 代理公司： | 北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙) 11716 | 代理人： | 刘晓佳 |
| 地址： | 250118 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 消除 内应力 装置 | ||
1.一种用于消除晶锭内应力的装置，其特征在于，包括：
振动台，所述振动台上设置有低频振动区和超声振动区，所述低频振动区的振动频率小于500Hz，所述超声振动区的振动频率大于20kHz，以使得所述晶锭能够依次在所述低频振动区和所述超声振动区进行振动处理；
所述低频振动区包括第一振动垫块；
所述超声振动区包括具有超声波发生器的超声波水浴槽，所述超声波水浴槽底部设有第二振动垫块，所述第一振动垫块和所述第二振动垫块分别与振动发生器连接；
所述第一振动垫块和所述第二振动垫块的表面分别设有晶锭卡槽，所述晶锭卡槽的槽内壁设有弹性垫；
还包括与所述振动发生器连接的控制主机，所述控制主机上设有用于显示第一振动垫块和/或第二振动垫块的振动频率的显示屏。
2.根据权利要求1所述的用于消除晶锭内应力的装置，其特征在于，所述振动发生器是激振器。
3.根据权利要求1所述的用于消除晶锭内应力的装置，其特征在于，所述装置还包括风干区，所述风干区包括晶锭放置架和风发生器，所述风发生器的风口朝向所述晶锭放置架。
4.根据权利要求1所述的用于消除晶锭内应力的装置，其特征在于，所述装置还包括固定组件，所述固定组件包括可升降的固定杆，所述固定杆在固定晶锭时与晶锭表面抵接。
5.根据权利要求1-4任一所述的用于消除晶锭内应力的装置，其特征在于，所述晶锭是碳化硅晶锭。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东天岳先进科技股份有限公司，未经山东天岳先进科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202021885273.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于自动化分拣机的分拣机构
- 下一篇：一种高速精密冲床的动平衡装置
