[实用新型]一种用于高能量准分子激光脉冲展宽的装置

权利要求书

1.一种用于高能量准分子激光脉冲展宽的装置，其特征在于，包括两个分束元件和八个球面反射镜组成的光学延迟腔直接构成的脉冲展宽装置，或者包括一个基于两个分束元件、八个球面反射镜组成光学延迟腔的前级脉冲展宽装置和一个基于单分束元件、多个球面反射镜组成光学延迟腔的后级脉冲展宽装置；

入射光束经过脉冲展宽装置或前级脉冲展宽装置进行光学延迟的光束，经过分束元件及球面反射镜的偶数次反射和球面反射镜的偶数次成像后均为正像输出；

控制球面反射镜的曲率半径，使得进行光学延迟后输出光束的光束特性参数与直接经过分束元件透射后输出光束的光束特性参数在脉冲展宽装置输出端口位置完全一致。

2.根据权利要求1所述的一种用于高能量准分子激光脉冲展宽的装置，其特征在于，所述基于两个分束元件和八个球面反射镜组成光学延迟腔的脉冲展宽装置中球面反射镜数量也可以增加为十六个，但数量必须是八的整数倍且最多为十六。

3.根据权利要求1所述的一种用于高能量准分子激光脉冲展宽的装置，其特征在于，所述基于两个分束元件和八个球面反射镜组成光学延迟腔的脉冲展宽装置，

第一个分束元件将入射光束分为两束，一束光进入光学延迟腔产生光学延迟后入射到第二个分束元件，另一束光直接入射到第二个分束元件；通过优化球面反射镜的曲率半径，使得经过两种路径入射到第二个分束元件的两束光束的光束特性参数保持完全一致；

第二个分束元件将每一束入射光束进一步分为两束，其中一束光直接输出，另一束光进入光学延迟腔产生光学延迟后回到第一个分束元件进一步分束；通过优化球面反射镜的曲率半径，使得经过光学延迟后回到第一个分束元件的光束与进入脉冲展宽装置的入射光束的光束特性参数保持完全一致；

上述过程不断重复直至多次分束后的激光光束能量低至可以忽略。

4.根据权利要求3所述的一种用于高能量准分子激光脉冲展宽的装置，其特征在于，

通过优化球面反射镜的曲率半径，同时使输入光束在光学延迟腔传输过程中形成的成像共轭点为第一个分束元件位置和第二个分束元件前方的位置A处，位置A到第二个分光元件的距离与两个分束元件之间的距离相等。

5.根据权利要求3所述的一种用于高能量准分子激光脉冲展宽的装置，其特征在于，所述光束特性参数包括：光束发散角、光束的指向性漂移特性和光斑尺寸。

6.根据权利要求3或4所述的一种用于高能量准分子激光脉冲展宽的装置，其特征在于，球面反射镜曲率半径和光学延迟腔长度有关。

7.根据权利要求3所述的一种用于高能量准分子激光脉冲展宽的装置，其特征在于，优化球面反射镜的曲率半径时，同时需要避免光束聚焦位置靠近光学元件，确保光学元件不产生激光损伤。