[实用新型]一种石英坩埚移动装置

权利要求书

1.一种石英坩埚移动装置，其特征在于：包括一对导轨(24)，所述导轨(24)上架放有石英坩埚移动机构；所述石英坩埚移动机构包括上方的固定板(14)和下方的升降板(13)；所述升降板(13)上设置有三爪卡盘(1)，夹持机构和旋转机构；

所述夹持机构包括第一电机(9)、联轴器(8)、轴承(5)、轴(4)、气电离合器(3)和第一小齿轮(2)；所述第一电机(9)底部转轴连接联轴器(8)顶端，联轴器(8)底端连接轴(4)一端，轴(4)设置于轴承(5)内，轴(4)另一端连接气电离合器(3)上部分，气电离合器(3)下部分连接第一小齿轮(2)，第一小齿轮(2)与三爪卡盘(1)的盘丝体啮合；

所述旋转机构包括第二电机(12)、第二小齿轮(11)和回转支承(10)；所述第二电机(12)的转轴连接第二小齿轮(11)，所述第二小齿轮(11)与回转支承(10)啮合，所述三爪卡盘(1)安装于回转支承(10)上。

2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚移动装置，其特征在于：所述轴(4)上设置有光电传感器用凸轮(6)，与光电传感器用凸轮(6)同一水平面上配套的安装有光电传感器(7)，用于检测轴(4)的旋转角度。

3.根据权利要求1所述的一种石英坩埚移动装置，其特征在于：所述第二电机(12)带有电磁抱闸。

4.根据权利要求1所述的一种石英坩埚移动装置，其特征在于：还包括上下移动机构，所述上下移动机构包括第四电机(19)、第四小齿轮(18)、旋转型丝杆(16)和丝杆螺母(17)；

所述丝杆螺母(17)固定于固定板(14)上，旋转型丝杆(16)套设于丝杆螺母(17)内，且底部穿过固定板(14)连接升降板(13)；

所述第四电机(19)底部转轴连接第四小齿轮(18)，所述第四小齿轮(18)与丝杆螺母(17)外表面的齿轮啮合。

5.根据权利要求4所述的一种石英坩埚移动装置，其特征在于：所述升降板(13)上设置有多根导向轴(15)，所述导向轴(15)穿过固定板(14)，且通过固定板(14)轴向导向径向限位。

6.根据权利要求1所述的一种石英坩埚移动装置，其特征在于：所述固定板(14)上设置有水平移动机构，所述水平移动机构包括第三电机(23)、第三小齿轮(21)和齿条(22)；所述第三电机(23)的转轴连接第三小齿轮(21)，所述第三小齿轮(21)与齿条(22)啮合，所述齿条(22)与导轨(24)平行。