[实用新型]立式自动上下晶圆装置

权利要求书

1.一种立式自动上下晶圆装置，其特征在于，所述立式自动上下晶圆装置包括：上料机构、XY机构、翻转机构、第一机械夹爪以及第二机械夹爪；

所述上料机构包括：平台以及升降结构，所述平台由所述升降结构带动进行升降；

所述XY机构驱动所述翻转机构于所述上料机构的一侧进行平移运动，其包括：第一底座、供所述第一底座沿X方向滑动的第一导轨、设置于所述第一底座上的第二底座、供所述第二底座沿Y方向滑动的设置于所述第一底座上的第二导轨；

所述翻转机构包括：翻转台、驱动所述翻转台枢转的第二传动电机；所述翻转台上具有至少两个并排设置的上料槽；

所述第一机械夹爪于所述上料机构和翻转机构之间在X方向进行往复运动，所述第二机械夹爪位于所述翻转机构的下游，并相对所述翻转机构在X方向进行往复运动。

2.根据权利要求1所述的立式自动上下晶圆装置，其特征在于，所述升降结构包括：由第一传动电机驱动枢转的竖直方向布置的第一丝杆，所述平台由所述第一丝杆驱动进行升降。

3.根据权利要求1所述的立式自动上下晶圆装置，其特征在于，所述第一底座由第二丝杆驱动沿所述第一导轨进行滑动，所述第二底座由第三丝杆驱动沿所述第二导轨进行滑动。

4.根据权利要求1所述的立式自动上下晶圆装置，其特征在于，所述翻转台包括本体，其一侧边缘与所述第二传动电机相连接，所述本体两侧边缘位置还设置有相对设置的夹具。

5.根据权利要求4所述的立式自动上下晶圆装置，其特征在于，任一侧的夹具上形成有所述至少两个并排设置的上料槽。

6.根据权利要求4所述的立式自动上下晶圆装置，其特征在于，两侧的夹具均由一气缸驱动，两侧的夹具由对应的气缸驱动相向或者相背运动。

7.根据权利要求1所述的立式自动上下晶圆装置，其特征在于，所述翻转台位于上料位置时处于水平状态，所述翻转台位于下料位置时处于竖直状态。

8.根据权利要求7所述的立式自动上下晶圆装置，其特征在于，所述翻转台位于下料位置时由所述XY机构驱动沿Y方向切换各上料槽与所述第二机械夹爪相对设置。

9.根据权利要求1所述的立式自动上下晶圆装置，其特征在于，所述立式自动上下晶圆装置还包括位于所述平台上的适于收容晶圆的料盒。

10.根据权利要求9所述的立式自动上下晶圆装置，其特征在于，所述晶圆的四周边缘连接有便于所述第一机械夹爪和第二机械夹爪夹持的边框。