[实用新型]一种用于检查晶圆卡匣内晶圆状态的机构

权利要求书

1.一种用于检查晶圆卡匣内晶圆状态的机构，包括气缸(1)、连杆(2)、映射传感器(3)、电机(4)、丝杆(5)、安装板(6)、固定座(7)、转动套(8)、卡块(9)、滑轨(10)、挡板(11)、连接块(12)、滑块(13)、顶板(14)、操作盒(15)、安装框(16)、安装架(17)、移动块(18)、第一限位块(19)、推动杆(20)、限位板(21)、第二限位块(22)、L型板(23)、接线端子(24)、连接头(25)和挡杆(26)，其特征在于：所述连接头(25)位于靠近L型板(23)的一侧，所述电机(4)的输出端套接固定连接有转动套(8)，所述电机(4)的输出端与丝杆(5)的一端固定连接，所述丝杆(5)的两端分别与固定座(7)的中心处安装的轴承内部套接固定连接，所述滑轨(10)的一侧分别与安装板(6)的一侧顶端中心两侧固定连接，所述滑轨(10)的底端分别与卡块(9)的中心处开设的凹槽内部固定连接，所述卡块(9)的一端分别与安装板(6)的一侧中心两端固定连接，所述安装板(6)的一侧两端分别与挡杆(26)的一侧固定连接，所述挡板(11)的顶端中心一侧与顶板(14)的底端一侧固定连接，所述顶板(14)的顶端中心处与气缸(1)的底端固定连接，所述气缸(1)的输出端与移动块(18)的一端中心处固定连接，所述顶板(14)的两侧中心一端分别与限位板(21)的相向一侧中心底端固定连接，所述限位板(21)的顶端中心一侧开设有凹槽，且推动杆(20)的中心两端分别位于该凹槽的内部，所述推动杆(20)的两端分别与第二限位块(22)的一端中心处固定连接，所述安装板(6)的顶端与安装框(16)的底端固定连接，所述安装框(16)的一侧两端分别与安装架(17)的一侧固定连接，所述安装框(16)的顶端与操作盒(15)的底端中心处固定连接，所述操作盒(15)的底端中心两侧分别与安装架(17)的顶端固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于检查晶圆卡匣内晶圆状态的机构，其特征在于：所述安装板(6)的一侧底端中心两端分别与接线端子(24)和连接头(25)的一端固定连接，所述安装板(6)的一侧底端两侧分别与L型板(23)和电机(4)的一侧固定连接，所述接线端子(24)位于靠近电机(4)的一侧。

3.根据权利要求1所述的一种用于检查晶圆卡匣内晶圆状态的机构，其特征在于：所述固定座(7)的一端分别与安装板(6)的一侧中心两端固定连接，所述丝杆(5)上安装有滚珠螺母，且滚珠螺母的一端与挡板(11)的一侧中心一端固定连接，所述挡板(11)的一侧中心两端分别与连接块(12)的一端固定连接，所述连接块(12)的另一端分别与滑块(13)的一端固定连接，所述滑块(13)的另一端分别位于滑轨(10)上。

4.根据权利要求1所述的一种用于检查晶圆卡匣内晶圆状态的机构，其特征在于：所述移动块(18)的底端位于第一限位块(19)的顶端中心处开设的限位凹槽的内部，所述第一限位块(19)的底端与顶板(14)的顶端中心一侧固定连接，所述移动块(18)的顶端中心处开设有凹槽，且推动杆(20)的中心处位于该凹槽的内部。

5.根据权利要求1所述的一种用于检查晶圆卡匣内晶圆状态的机构，其特征在于：所述第二限位块(22)的另一端分别与连杆(2)的相向一侧中心底端贴合，所述连杆(2)的底端分别与L型板(23)转动连接，所述L型板(23)的一侧分别与安装板(6)的另一侧中心两端固定连接，所述连杆(2)的相向一侧顶端中心处分别与映射传感器(3)的两端固定连接，所述安装板(6)的中心顶端开设有凹槽。