[实用新型]一种等离子体与紫外光解一体化气体处理装置

权利要求书

1.一种等离子体与紫外光解一体化气体处理装置，其特征在于，所述装置包括：进气口、反应腔、等离子体发生模块、无极紫外灯阵、绝缘层、出气口；

其中，所述等离子体发生模块由电源、电极板、电极板支架构成，所述电极板包括负高压电极板和零极电极板，所述电源通过线缆向所述电极板供电产生高压静电等离子体；所述无极紫外灯阵由多个无极紫外灯通过灯管支架排布而成，受等离子体激发发出短波紫外光。

2.根据权利要求1所述的等离子体与紫外光解一体化气体处理装置，其特征在于，所述电极板设置在所述反应腔内，所述负高压电极板两侧分别平行设置一个零极电极板，通过所述电极板支架固定，且与所述反应腔壁绝缘；所述电源设置在所述反应腔外部，通过所述线缆向所述电极板供电产生高压静电等离子体。

3.根据权利要求1所述的等离子体与紫外光解一体化气体处理装置，其特征在于，所述电极板上均匀设置有多个针。

4.根据权利要求1所述的等离子体与紫外光解一体化气体处理装置，其特征在于，所述无极紫外灯阵包括多个无极紫外灯，所述多个无极紫外灯通过所述灯管支架设置在所述负高压电极板和零极电极板之间。

5.根据权利要求4所述的等离子体与紫外光解一体化气体处理装置，其特征在于，所述无极紫外灯包括185nm波长的无极紫外灯和254nm波长的无极紫外灯。

6.根据权利要求1所述的等离子体与紫外光解一体化气体处理装置，其特征在于，所述反应腔内，在与负高压电极板垂直的两个腔体壁面内设置所述绝缘层，所述反应腔外壁与负高压电极板绝缘。