[实用新型]一种高拉速通用型水冷屏

说明书

本实用新型公开了一种高拉速通用型水冷屏，包括中部上下贯穿的筒体、环形腔体、进水管管道、连通管管道以及出水管管道；所述筒体为锥形，上端开口大于下端开口，筒壁内设有中空的腔体，腔体内部设有冷却水水道；所述环形腔体位于筒体的下端开口处，其内部具有环形的中空腔道；所述进水管管道与筒体顶部内侧连接，并与筒体内部的腔体连通；所述连通管管道的一端与筒体顶部内侧连接，并与筒体内部的腔体连通，另一端向下弯折后与位于筒体底部的环形腔体内侧连接，并与环形腔体内的中空腔道连通；所述出水管管道的一端与环形腔体内侧连接，另一端向上并从筒体上端开口处伸出。

技术领域

本实用新型属于单晶领域，具体涉及一种高拉速通用型水冷屏。

背景技术

随着单晶行业竞争日趋激烈，只有不断提高单小时产出才能立于不败之地。而等径工序在整炉运行时间中占比70％以上，因此提高等径拉速可有效压缩等径时间提高单产。目前行业内利用水冷屏来提高等径拉速已普遍推广。现有各厂家所使用的水冷屏均采用中空金属腔体，内部通入冷却水。这样的结构可保证水冷屏所包围的内部空间处于低温区，从而对晶棒进行冷却，增大晶体生长纵向温度梯度，实现提高等径拉速的目的。现有水冷屏内壁为环形光滑曲面结构，其目的是便于导流同时可防止表面附着硅渣影响成晶。此结构的设计也导致了其散热面积较小。在加上需要考虑CCD相机捕捉直径及操作人员测量直径的需求，因此水冷屏内壁直径通常较大，距离晶棒较远。上述因素导致现有水冷屏对晶棒的冷却效果极其有限，晶体生长的等径拉速继续提高已达到瓶颈，同时现有水冷屏为不锈钢材质成型后只能拉制尺寸小于水冷屏口径40mm以下的晶棒，无法拉制更大直径的晶棒，兼容性较差。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种可有效对晶棒进行充分冷却的水冷屏。实现等径拉速的不断提高，同时可兼容拉制目前市场各种主流晶棒尺寸无需单独购买大口径水冷屏及配套石墨件降低生产成本。

为了实现上述目的，本实用新型采取的技术方案如下：

一种高拉速通用型水冷屏，包括中部上下贯穿的筒体、环形腔体、进水管管道、连通管管道以及出水管管道；

所述筒体为锥形，上端开口大于下端开口，筒壁内设有中空的腔体，腔体内部设有冷却水水道；

所述环形腔体位于筒体的下端开口处，其内部具有环形的中空腔道；

所述进水管管道与筒体顶部内侧连接，并与筒体内部的腔体连通；

所述连通管管道的一端与筒体顶部内侧连接，并与筒体内部的腔体连通，另一端向下弯折后与位于筒体底部的环形腔体内侧连接，并与环形腔体内的中空腔道连通；

所述出水管管道的一端与环形腔体内侧连接，另一端向上并从筒体上端开口处伸出。

具体地，所述出水管管道和连通管管道设置在进水管管道相对的一侧；且出水管管道和连通管管道的顶部弯折处，分别设有快拆接头。

进一步地，所述环形腔体与筒体的下端开口可拆卸的连接。

具体地，所述环形腔体的外壁上设有外螺纹，所述筒体的下端内壁设有内螺纹，通过内外螺纹配合，实现环形腔体在筒体的下端开口处的拆装。当然，可拆卸连接方式不仅限于螺纹连接方式，其他能实现可拆卸连接的方式均可，例如卡扣连接等。

进一步地，所述筒体的内壁上设有散热片，所述散热片沿纵向均匀设置，且指向下方的同一圆心。

优选地，所述冷却水水道为多层上下连通的环形管道，进水管管道自筒体顶部与冷却水水道连通，导入的冷却水经环形管道流向下一层，直至筒体底部，再通过向上的环形管道导入筒体顶部另一侧的连通管管道，经连通管管道流入环形腔体内的中空腔道内，最后经出水管管道排出。

具体地，所述进水管管道和出水管管道的水平弯折段上分别设有用于将该水冷屏与外部导流筒连接的固定板。