[实用新型]一种蒸发舟的夹紧装置有效
申请号: | 202021914301.2 | 申请日: | 2020-09-04 |
公开(公告)号: | CN213113471U | 公开(公告)日: | 2021-05-04 |
发明(设计)人: | 巩鹏程;王前;宫伯昌;任学美 | 申请(专利权)人: | 山东鹏程陶瓷新材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人: | 王姝尹 |
地址: | 255086 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蒸发 夹紧 装置 | ||
1.一种蒸发舟的夹紧装置,适用于对真空镀膜设备中的蒸发舟进行导电和夹紧,蒸发舟上两矩形的连接端分别与真空镀膜设备上的电极电性连接,其特征在于,包括:
夹紧部(1),所述夹紧部(1)包括整体呈矩形且一侧面开口的夹紧壳(10),所述夹紧壳(10)内部活动连接有一水平布置的夹紧板(11),所述夹紧板(11)的板面垂直于所述夹紧壳(10)的开口侧面,蒸发舟的一连接端容纳在所述夹紧壳(10)中并通过所述夹紧板(11)将其与所述夹紧壳(10)夹紧;
滑动部(2),所述滑动部(2)包括两端开口的矩形槽(20),所述夹紧壳(10)嵌设在所述矩形槽(20)中且其开口侧面与所述矩形槽(20)的槽长方向垂直;
连接部(3),所述连接部(3)包括水平布置的连接板(30)、导电柔性带(31),所述连接板(30)整体为矩形且其一端与真空镀膜设备上的电极电性连接,所述矩形槽(20)的槽底面与所述连接板(30)的上板面固定,在所述夹紧壳(10)上与其开口侧面相对的侧面固定有所述导电柔性带(31),所述导电柔性带(31)远离所述夹紧壳(10)的一端与所述连接板(30)的侧面固定。
2.根据权利要求1所述的一种蒸发舟的夹紧装置,其特征在于,所述夹紧板(11)的上板面居中固定有一矩形的卡接壳(12),所述卡接壳(12)远离所述夹紧壳(10)开口侧面的一侧开口且其顶面开设有一矩形豁口(120),所述矩形豁口(120)的开口处与所述卡接壳(12)的开口侧相通,所述矩形豁口(120)远离其开口处的一端位于所述卡接壳(12)顶面的几何中心位置处,所述夹紧壳(10)的顶面开设有一螺纹通孔(100),所述螺纹通孔(100)上旋拧有一紧固螺栓(13),所述紧固螺栓(13)的螺纹端沿其轴向固定有一连接圆柱(14),所述连接圆柱(14)远离所述紧固螺栓(13)的一端在穿过所述矩形豁口(120)后固定有一卡接圆柱(15),所述卡接圆柱(15)的直径大于所述矩形豁口(120)的宽度。
3.根据权利要求1所述的一种蒸发舟的夹紧装置,其特征在于,所述夹紧壳(10)在与其开口侧面相邻的两相对的侧面上水平且对称固定有一矩形的滑动条(21),对应的,在所述矩形槽(20)的槽壁内侧开设有与所述滑动条(21)位置对应的滑动槽(200),所述滑动条(21)嵌设在所述滑动槽(200)中。
4.根据权利要求1所述的一种蒸发舟的夹紧装置,其特征在于,在所述矩形槽(20)远离所述夹紧壳(10)开口侧面的一端水平固定有一矩形挡板(22)。
5.根据权利要求1所述的一种蒸发舟的夹紧装置,其特征在于,所述夹紧壳(10)沿所述矩形槽(20)槽长方向上的长度小于所述矩形槽(20)的槽长。
6.根据权利要求1所述的一种蒸发舟的夹紧装置,其特征在于,所述导电柔性带(31)为铜带。
7.根据权利要求1所述的一种蒸发舟的夹紧装置,其特征在于,所述夹紧板(11)整体呈矩形且与所述夹紧壳(10)的内部适配。
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