[实用新型]一种半导体检测用基于磁光效应的成像椭偏仪

权利要求书

1.一种半导体检测用基于磁光效应的成像椭偏仪，包括机箱（1），其特征在于：所述机箱（1）的顶部固定连接有成像椭偏仪本体（2），所述机箱（1）的右侧固定连接有驱动电机（3），所述驱动电机（3）的输出轴固定连接有螺纹杆（4），所述螺纹杆（4）的表面套设有螺纹套（5），所述螺纹套（5）的顶部固定连接有安装板（6），所述安装板（6）的顶部固定连接有液压伸缩缸（7），所述液压伸缩缸（7）的顶部通过轴承座活动连接有转轮（8），所述液压伸缩缸（7）的右侧固定连接有连接杆（19），所述连接杆（19）的右侧固定连接有微型电机（9），所述微型电机（9）的输出轴固定连接有传动机构（10），所述转轮（8）的顶部设置有放置槽（11）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体检测用基于磁光效应的成像椭偏仪，其特征在于：所述安装板（6）的底部固定连接有支撑杆（12），所述支撑杆（12）的底部固定连接有滑轮（13），所述滑轮（13）的底部滑动连接有滑槽（14）。

3.根据权利要求1所述的一种半导体检测用基于磁光效应的成像椭偏仪，其特征在于：所述传动机构（10）包括齿轮（101）和圆形齿牙板（102），所述微型电机（9）的输出轴固定连接有齿轮（101），所述齿轮（101）的表面啮合有圆形齿牙板（102），所述圆形齿牙板（102）的内侧与转轮（8）的表面固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体检测用基于磁光效应的成像椭偏仪，其特征在于：所述放置槽（11）内腔的左右两侧均固定连接有弹簧（15），所述弹簧（15）的另一端固定连接有固定板（16）。

5.根据权利要求1所述的一种半导体检测用基于磁光效应的成像椭偏仪，其特征在于：所述机箱（1）的正面设置有控制箱（17），所述机箱（1）的顶部设置有限位槽（18）。