[实用新型]一种气浮运动平台

说明书

本实用新型公开了一种气浮运动平台，包括大理石底座、移载台、光栅反馈装置和直线电机，大理石底座支撑在机架上，大理石底座两侧上部向外凸出形成导轨，移载台包括运动滑台板和两个浮子板，运动滑台板的两端分别与两个浮子板的一端相连，浮子板的截面为C形，浮子板口对口对称围住两导轨，气浮轴承与移载台相连且对应导轨的各表面设置，大理石底座上部设置有凹槽，直线电机设置在凹槽内，直线电机的动子与运动滑台板相连，光栅反馈装置设置于移载台与大理石底座之间。本实用新型能够实现导轨与移载台之间气膜厚度的均匀，保证气浮平台的精度。

技术领域

本实用新型涉及精密定位装置技术领域，具体涉及一种气浮运动平台。

背景技术

直驱气浮平台是一种高精度定位装置，它采用直线电机驱动、空气轴承支承，直驱气浮平台具有极低摩擦、无爬行、极高运动精度和直线电机驱动的高刚度、宽调速范围、高动态性能的优点，真正地实现了无摩擦和“零传动”，被越来越多地应用到如微纳加工、IC封装、大面板液晶显示器制造和检测、光学扫描检测等领域中。

随着精密制造领域对超精密工作台的要求提高，气浮平台的刚度、稳定性和位置都对定位精度产生了一定影响，由于气浮平台的气膜厚度一般在微米级，气浮平台在工作过程中，由于装配应力释放、温度变化等会导致导轨发生变形而使得气膜厚度无法保证，造成刚度损失而模态频率降低，严重时会发生运动卡死而损坏气浮轴承，磨花气浮面等严重后果，因此亟需设计一款新型的超精密气浮运动平台来减小导轨对定位精度的影响。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种气浮运动平台，能够实现导轨与移载台之间气膜厚度的均匀，保证气浮平台的精度。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种气浮运动平台，包括大理石底座、移载台、光栅反馈装置和直线电机，所述大理石底座支撑在机架上，所述大理石底座两侧上部向外凸出形成导轨，所述移载台包括运动滑台板和两个浮子板，所述运动滑台板的两端分别与两个所述浮子板的一端相连，所述浮子板的截面为C形，所述浮子板口对口对称围住两所述导轨，气浮轴承与所述移载台相连且对应所述导轨的各表面设置，所述大理石底座上部设置有凹槽，所述直线电机设置在所述凹槽内，所述直线电机的动子与所述运动滑台板相连，所述光栅反馈装置设置于所述移载台与大理石底座之间。

进一步的，所述气浮轴承包括方形轴承和球头螺杆，所述球头螺杆的下端通过其球面与方形轴承表面的球窝结构相连接。

进一步的，所述气浮轴承沿所述导轨长度方向设置有多个，每个所述气浮轴承侧边的移载台上均设置有轴承限位板，所述轴承限位板与所述方形轴承侧面平行。

进一步的，所述运动滑台板下表面设置有指向所述大理石底座的第一聚氨酯减震块，所述第一聚氨酯减震块为带螺钉型聚氨酯减震块。

进一步的，所述运动滑台板两端设置有铝合金防撞块，所述大理石底座两端分别连接有挡板，所述挡板相对的两侧面均设置有与所述铝合金防撞块对应的第二聚氨酯减震块，所述移载台与所述挡板之间设置有风琴罩。

进一步的，所述光栅反馈装置包括读数头、安装支架、光栅尺和光栅固定条，所述光栅固定条与所述大理石底座固定连接，所述光栅尺贴于所述光栅固定条上，所述读数头与所述光栅尺相对设置，所述读数头通过安装支架设置于所述移载台上。

进一步的，所述安装支架通过腰型孔与所述移载台相连，所述腰型孔沿所述读数头指向所述光栅尺的方向设置。

进一步的，所述光栅固定条为大理石条。

进一步的，还包括拖链走线装置，所述拖链走线装置包括拖链固定板、无尘静音拖链、运动端连接板和连接器转接支架，所述无尘静音拖链设置于所述拖链固定板内，所述运动端连接板与所述无尘静音拖链的运动端固定连接，所述连接器转接支架安装在所述无尘静音拖链固定端的拖链固定板内。